VS BD30 臺面固定干式檢漏儀
VS 系列檢漏儀將雙鍵操作的簡易性和高級專家系統(tǒng)智能結(jié)合了起來。的質(zhì)譜儀與真空系統(tǒng)的結(jié)合能提供強(qiáng)大的性能，為不同的應(yīng)用提供廣泛的測試方法。多種多樣的選擇帶來了巨大的配置靈活性，極富活力的設(shè)計創(chuàng)意令 VS 系列檢漏儀能夠在最嚴(yán)苛的環(huán)境中可靠地運行，滿足的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
特性
- 帶 TS620 干式渦旋泵的臺面固定式檢漏儀
- 全自動的初始設(shè)置及校正地提升了效率
- 測試接口高壓力允許對大型泄漏的檢測
- 快速的凈化延長了系統(tǒng)的正常運行時間，強(qiáng)大的法拉第杯技術(shù)以低廉的維護(hù)成本帶來了經(jīng)證實的可靠性
- 新型高效離子源和束流光學(xué)優(yōu)化了靈敏度和質(zhì)量分離
- 檢漏儀可以外放于潔凈室內(nèi)，從而避免污染
性能指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo)
| VS PR02 — 便攜式 | DS-42 旋片泵 |
| VS PD03 — 便攜式 | 干式泵組合 |
| — 移動式 VS MR15 | DS-302 旋片泵 |
| VS MD30 — 移動式 | TS-620 干式渦旋泵 |
| VS BR15 — 臺面固定式 | DS-302 旋片泵 |
| VS BD30 — 臺面固定式 | TS-620 干式渦旋泵 |
| 環(huán)境氦氣濃度 1000 ppm 時的最小可檢泄漏 | |
| Atm cc/s 氦氣 | 5 × 10-12 |
| Mbar-L/s 氦氣 | 5 × 10-12 |
| Pa-m³/s 氦氣 | 5 × 10-13 |
| 測試接口壓力 | 10 torr/13 mbar/1330 Pa |
| 氦氣抽速 | 精細(xì)測試時測試接口處為 1.8 L/s |
| 校準(zhǔn)程序 | 自動或手動 |
| 背景氦氣抑制 | 按鍵式自動歸零， |
| 零點自動跟蹤 | |
| 用戶界面 | 高清晰度彩色觸摸屏 |
| 可選擇的語言 | 英語，法語，德語，日語，韓語，簡體中文，西班牙語 |
| 用于自動循環(huán)的可編程功能 | 粗抽時間，測試時間，拒絕設(shè)定點 |
| 響應(yīng)時間 | < 0.5 s |
| 設(shè)定點（標(biāo)準(zhǔn) — 5） | 泄漏速率 (3)，壓力 (1)，音頻 (1) |
| 通訊接口 | RS-232，9600 波特（DB-9S 連接器） |
| 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | UL/CSA, CE |
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