Technical Data PR 25 PR 26 PR 27 PR 28
Measurement range mbar 1 x 10-9 to 10-2 1 x 10-9 to 10-2 1 x 10-9 to 10-2 1 x 10-9 to 10-2
（Torr） （0.75 x 10-9 to 10-2） （0.75 x 10-9 to 10-2） （0.75 x 10-9 to 10-2） （0.75 x 10-9 to 10-2）
High voltage supply （anode potential） kV +3.3/+1.6 +3.3/+1.6 +3.3/+1.6 +3.3/+1.6
Storage temperature range °C -25 to +80 -25 to +80 -25 to +80 -25 to +80
Nominal temperature range °C 0 to +80 0 to +80 0 to +80 0 to +200
Bake out temperature （flange） °C – – – 350
Permissible overload （abs.） bar 6 1） 6 1） 6 1） 6 1）
Dead volume cm3 21 21 21 21
Materials in contact with the medium stainless steel, stainless steel, stainless steel, stainless steel,
nichrome, nichrome, nichrome, nichrome,
ceramics, titanium ceramics, titanium ceramics, titanium ceramics, titanium
Weight, approx. kg （lbs） 0.75 （1.66） 0.75 （1.66） 0.8 （1.66） 0.8 （1.66）
Vacuum connection DN 25 KF 40 KF 40 CF 40 CF
Operating units COMBIVAC COMBIVAC COMBIVAC COMBIVAC
CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 / CM 31, 32, 33 /
PENNINGVAC PM 31 PENNINGVAC PM 31 PENNINGVAC PM 31 PENNINGVAC PM 31
Ordering Information PR 25 PR 26 PR 27 PR 28
PENNINGVAC sensors Part No. 157 52 Part No. 136 46 Part No. 136 47 Part No. 136 48
Replacement cathode plate, titanium
（5 pcs., incl. 5 ceramics discs） Part No. EK 162 91 Part No. EK 162 91 Part No. EK 162 91 Part No. EK 162 91
Replacement anode ring Part No. 200 28 711 Part No. 200 28 711 Part No. 200 28 711 Part No. 200 28 711
Baffle, with centering ring Part No. 230 078 Part No. 230 079 – –
1） When using an ultra sealing gasket at the vacuum connection
Note:
PR 26 replaces PR 31, 32, 35
PR 27 replaces PR 36
Oerlikon Leybold Vacuum Full Line Catalog 77 C16
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