儀器簡介:
手動橢圓偏振測厚儀使用消光法測量薄膜厚度和折射率;手動調(diào)節(jié)測試過程中的起偏和檢偏角度。橢圓偏振法廣泛地應(yīng)用于固體基片上介質(zhì)薄膜的測量。在己有測定薄膜厚度的方法中,它是能測量到和精度的一類。
實驗內(nèi)容:
1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2、掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法
主要配置和參數(shù):
序號 | 名稱 | 規(guī)格和參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測量最小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°-90°誤差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°-180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標(biāo)最小讀數(shù) | 0.05° |
7 | 光學(xué)中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺直徑 | Φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm*230mm*290mm |
10 | 主機重量 | 20kg |