氦檢質(zhì)譜漏儀的原理
氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺氦流量計。
檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進(jìn)行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。
重要技術(shù)規(guī)范
測量范圍和響應(yīng)時間是檢漏儀的兩個重要的參數(shù)。
測量范圍用小和可檢漏率限定。
小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率?？蓹z漏率依賴于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見下面的說明）可以測量非常大的漏率。此外，檢漏儀內(nèi)部的多級高阻抗輸入開關(guān)放大器也能提高檢漏儀測量大漏的能力。在實際的檢漏操作過程中特別是查找漏點的時候，響應(yīng)時間十分重要。該時間指從用氦氣噴吹試驗對象直到檢漏儀顯示測量值所用的時間。電子信號調(diào)節(jié)電路系統(tǒng)的響應(yīng)時間是總響應(yīng)時間的重要組成部分。對于檢漏儀來說，電氣系統(tǒng)的響應(yīng)時間遠(yuǎn)小于1秒。
檢漏設(shè)備對氦的有效抽速決定了氦氣通過漏孔進(jìn)入檢漏儀的時間（如果檢漏設(shè)備沒有輔助抽空的系統(tǒng)，檢漏儀內(nèi)置的真空泵的大小會影響系統(tǒng)的響應(yīng)時間）。檢漏系統(tǒng)的響應(yīng)時間可根據(jù)下面的簡單公式計算：
氦響應(yīng)時間
(達(dá)到實際漏率95%的時間)
其中 V = 試驗對象容積
SHe = 檢漏系統(tǒng)對氦的有效抽速。
用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)檢漏儀
檢漏工藝要求準(zhǔn)確地區(qū)分漏與不漏的試用對象，避免任何失誤。這就需要由標(biāo)準(zhǔn)漏孔（能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設(shè)備的基準(zhǔn)。為了獲得準(zhǔn)確的漏率數(shù)據(jù)，必須使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對校準(zhǔn)檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。
萊寶真空可以提供采用不同原理設(shè)計的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔。所有標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯(lián)邦物理技術(shù)協(xié)會） 和
DAKKS認(rèn)證認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)客戶的要求， 每個氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔都可以提供由DAkkS認(rèn)證認(rèn)可委員會頒發(fā)的校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準(zhǔn)實驗室完成。
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典型應(yīng)用
器件檢漏和工業(yè)檢漏應(yīng)用，如：
- 汽車工業(yè)
- 電力行業(yè)
- 制冷行業(yè)
- 科研
- 包裝
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技術(shù)參數(shù) | PHOENIX L500i | |
小可檢漏率 | mbar x l x s-1 | 5 x 10-12 |
入口壓強定性檢測 定量檢測 | mbar (Torr)mbar (Torr) | 1000 (750) 100 (75) |
可檢測的質(zhì)量數(shù) | amu | 2, 3 and 4 |
啟動時間 | min | 3 |
入口法蘭 | DN | 63 ISO-K |
對氦抽速 | l/s | 50 |
響應(yīng)時間 | s | 1 |
供電電壓 3 phases/N/PE, 50/60 Hz | V | 200/208/380/400/460 |
重量 | kg (lbs) | 385 (849) |
尺寸（長X寬X高） | mm | 999 x 630 x 1028 |
iPad保護(hù)等級帶充電線 充電口蓋緊 | IPIP | 65 67 |
可選語言 | 英語，德語 | |
漏率顯示單位壓強漏率吸槍模式 | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq | |
測量范圍 | mbar x l x s-1 | 1 x 10-12 to 1000 |
抽空時的抽速 | ||
50 Hz 60 Hz | m3 x h-1 (cfm) m3 x h-1 (cfm) | 65 (40 0) 78 (45 9) |
質(zhì)譜室形式 | 180度磁場偏轉(zhuǎn) | |
離子源 | 雙銥絲（帶氧化銥涂層） | |
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訂貨信息 | PHOENIX L500i | |
產(chǎn)品號 | ||
氦質(zhì)譜檢漏儀PHOENIX L500i | ||
前級泵帶LVO100礦物油前級泵帶LVO400PFPE油 | 503504V901 503504V902 | |
標(biāo)準(zhǔn)漏孔 TL 9 TL 8 TL 6 TL 4 TL 4-6 | 144 08 165 57 155 66 155 65 155 80 | |
轉(zhuǎn)換接頭DN63ISO-K/DN40-KF | 887 40 | |
氦氣噴槍（帶5米線） | 165 55 | |
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