MCPD series 在線評(píng)估測試系統(tǒng)

產(chǎn)品信息

特　點(diǎn)

● 工藝過程中的薄膜高速測量

●最短曝光時(shí)間1ms～※根據(jù)規(guī)格

●支持遠(yuǎn)程測量

●膜厚測量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）

基本配置

多點(diǎn)測量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)

在多點(diǎn)測量點(diǎn)切換對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中，通過在TD方向預(yù)先設(shè)置任意寬度的多分支光纖，可以在不驅(qū)動(dòng)光纖的情況下測量TD方向的膜厚分布?？梢宰鳛橥繉拥臈l件和實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。

檢測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式，通過光纖的光路切換可以進(jìn)行多點(diǎn)測定。

橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)

在橫動(dòng)單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)中，通過在TD方向上驅(qū)動(dòng)橫動(dòng)單元，可以以任意寬度和任意間距測量TD方向的膜厚分布。

可以作為涂層條件提出和實(shí)時(shí)監(jiān)控使用。 由于通過排線單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測量，因此無需準(zhǔn)備多臺(tái)檢測器和數(shù)據(jù)處理。

即使在真空環(huán)境下也可以在多點(diǎn)進(jìn)行反射、透射光譜測定

通過使用各種法蘭對(duì)應(yīng)的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射、透射光譜。

另外，膜厚運(yùn)算不易受到基膜的上下移動(dòng)的影響，并且采用精度良好的薄膜測量大冢電子獨(dú)自的算法，可以作為實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。