圖片描述:
真空截止閥開(kāi)關(guān)氣路,當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉,閥2打開(kāi)時(shí),機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空,氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路;當(dāng)閥2關(guān)閉,閥4打開(kāi)時(shí),機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真空;當(dāng)閥1和閥4同時(shí)打開(kāi)時(shí),擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時(shí)工作,對(duì)容
圖片來(lái)源: