光學(xué)儀器

概述:
WaveMaster 是應(yīng)用于球面及非球面光學(xué)波前實(shí)時(shí)測(cè)量和分析的新型設(shè)備。WaveMaster 具備高空間分辨率和精度，可輕松的建立有限軛或無(wú)限軛結(jié)構(gòu)，并整合了波前傳感技術(shù)。同時(shí)高精度的、可5維調(diào)節(jié)的樣品夾持器使被測(cè)樣品的調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單快速。系統(tǒng)主要特征包括：
• 非球面透鏡檢測(cè)以波前傳感器作為測(cè)量工具
• 實(shí)時(shí)波前監(jiān)測(cè)
• 高空間分辨率和精度
• 快速的非球面透鏡透射式測(cè)量
• 可對(duì)有限軛及無(wú)限軛樣品測(cè)量
• 配套工具使被測(cè)樣品的調(diào)節(jié)快速可靠
• 簡(jiǎn)便的操作和快速的測(cè)量適用于批量生產(chǎn)；
• 可提供波前圖、Zernike系數(shù)等各種數(shù)據(jù)
• 封閉式設(shè)計(jì)可排除周?chē)h(huán)境影響，使各種元件順利測(cè)量
• 防振式結(jié)構(gòu)，避免振動(dòng)影響
相關(guān)軟件可通過(guò)多種方式測(cè)量和顯示波前數(shù)據(jù)。同時(shí)也包括擴(kuò)展的分析功能和數(shù)據(jù)儲(chǔ)存。另外可導(dǎo)入理論數(shù)據(jù)與測(cè)量的實(shí)際數(shù)據(jù)對(duì)比。


系統(tǒng)組件:
波前傳感器:
• 孔徑尺寸：15×15 mm²
• 被測(cè)透鏡陣列： 128×128
• 動(dòng)態(tài)傾斜范圍：>±3° (1500λ)
• 動(dòng)態(tài)聚焦范圍：±0.03 m ~ ±∞ (1800λ)
• 光譜范圍：350 — 1100 nm
• 重復(fù)性(RMS)：<λ/200
• 波前相對(duì))精度(RMS)：λ/20 (λ/50)
• 傾斜測(cè)量靈敏度：< 1μrad
• 聚焦測(cè)量靈敏度：5×10^-4 m^-1
• 測(cè)量頻率：3.5 Hz
• 14 bit – Firewire 照相機(jī)
激光光源:
• 波長(zhǎng)635nm
• 可用作準(zhǔn)直光源(Φ_beam≥ 5 mm，WF < λ/15 P.V.)或點(diǎn)光源(NA0.7)
光學(xué)成像系統(tǒng):
• 建立有限式和無(wú)限式測(cè)量
• 根據(jù)不同系統(tǒng)的放大倍率更換望遠(yuǎn)系統(tǒng)
• 更換準(zhǔn)直物鏡
高精度5維樣品調(diào)節(jié)夾持器:
• 增加自準(zhǔn)直儀的傾斜控制和調(diào)整功能

軟件:
波前采集和顯示:
• 或相對(duì)式測(cè)量
• 減少背景光線
• 波前、邊緣以及相位的2D或3D的實(shí)時(shí)顯示
• 峰谷值和RMS值的實(shí)時(shí)顯示
• 光強(qiáng)顯示
• 傾斜度顯示
• 實(shí)時(shí)照相機(jī)成像
• 樣品調(diào)整工具(傾斜及位置調(diào)整)
• 傾斜和散焦的實(shí)時(shí)修正
波前分析:
• 實(shí)時(shí)澤爾尼克分析
• 被測(cè)、定制和剩余波前的實(shí)時(shí)顯示（2D和3D）
• 橫截面的實(shí)時(shí)顯示
• Zernike 系數(shù)的數(shù)字和圖形顯示
• 系數(shù)的自由選擇，包括在分析過(guò)程中的輸入和刪除
• 導(dǎo)入波前理論數(shù)據(jù)與測(cè)量數(shù)據(jù)對(duì)比
• 不同波前和系數(shù)的顯示
測(cè)量數(shù)據(jù)儲(chǔ)存類(lèi)型:
• 傾斜數(shù)據(jù)
• 波前數(shù)據(jù)
• Zernike 系數(shù)數(shù)據(jù)
• 完備的測(cè)量報(bào)告包括：測(cè)量環(huán)境、測(cè)量結(jié)果的圖形和數(shù)字顯示以及Zernike 系數(shù)列表

其他:
• 具體的測(cè)量設(shè)置可被分別儲(chǔ)存于不同文件并重新導(dǎo)入
• 被測(cè)樣品相關(guān)信息存入數(shù)據(jù)文件
• 幀數(shù) > 5Hz (取決于照相機(jī)幀數(shù))
• 單位：μm 或λ