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詳細(xì)介紹
全自動工具測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力,和影像測量儀的X、Y. Z軸表面尺寸測量功能,具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、 LCD、 手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、科研、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。
技術(shù)規(guī)格
產(chǎn)品圖展示
① |
② |
③ |
④ |
⑤ | ①:固定式E通三目頭 ②:高眼點大視野平場目鏡 ③:落射照明器 ④:反射用干涉綠色片組 ⑤: 500W像素高分辨率彩色相機(jī) |
技術(shù)參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) |
觀察頭 | 30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié):50-76mm，兩檔分光比100/0或0/100 |
5°~35°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm，兩檔分光比：100/0或0/100 | |
30傾斜，倒像，無限遠(yuǎn)較鏈三通觀察簡 .瞳距調(diào)節(jié):0-7mm.兩檔分光比: 100/0或50/50 | |
| 目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL0X22mm，可帶測微尺 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X22mm。視度可調(diào)，可帶測微尺 | |
| 轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位5孔轉(zhuǎn)換器 |
內(nèi)定位明暗場5孔轉(zhuǎn)換器 | |
| 物鏡 | 無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相DIC物鏡( 5X、10X ) |
無限遠(yuǎn)超長工作距平場半復(fù)消金相DIC物鏡( 20X ) | |
| 無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡( 50X、100X ) | |
| 無限遠(yuǎn)長工作距平場明暗場消色差金相物鏡(5x.10X) | |
無限遠(yuǎn)超長工作距平場明暗場半復(fù)消金相DIC物鏡( 20X ) | |
| 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡( 50X、100X ) | |
| 放大倍率 | 光學(xué)放大倍率: 50X- 1000X |
系統(tǒng)放大倍率: 135X-2700X | |
| 平臺精度 | 電動測量平臺(行程300mm(Xx200)mm，帶數(shù)顯器，帶電動調(diào)焦控制盒;樣品高度150mm ; 測量精度，X和Y: ( 2+L/200) μm, L為測量長度(單位mm) Z(選配): (5+L/200) μm |
| 照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器，帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶5WLED燈源，亮度可調(diào)(含托架適配器) |
輔助對焦模塊，帶對焦分劃板兩檔，帶綠光5WLED燈源組(含100V-240V寬電壓, 5WLED控制器) | |
| 調(diào)焦方式 | 電動手輪控制調(diào)節(jié)，調(diào)焦距離175mm |
| 相機(jī) | 像素500萬or130W可選；2592(H)x 1944(V)or1280(H)*960(H)；幀率: 30fps；接口: USB2.0； 圖像傳感器：CMOS(彩色) |
| 攝影攝像接口 | 1XCTV. C型接口、可調(diào)焦 |
0.65XCTV、C型接口、可調(diào)焦 | |
0.5XCTV、C型接口、可調(diào)焦 | |
| PC | DELL OptiPlex3050MT+DELL液晶顯示器+正版Win10系統(tǒng) |
| 軟件 | 精密測量軟件 |
| 其他附件 | 起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC組件；標(biāo)定片 |
*如果您不了解參數(shù)或者還有什么疑問，請聯(lián)系我們，客服為您耐心解答。
核心優(yōu)勢
| 的光學(xué)技術(shù)呈現(xiàn)出色成像 | |
100倍 IC電路 明場 50倍 IC電路 暗場
20倍 IC電路 偏光 10倍 FPD導(dǎo)電粒子 DIC | 具備專業(yè)、*的技術(shù),是研發(fā)首要條件。 Tm自動工具測量顯微鏡采用優(yōu)異的無限遠(yuǎn) 光學(xué)系統(tǒng)搭配半復(fù)消色差物鏡,提高了成像 襯度和清晰度,用戶可以得到鮮明、清晰的 高對比度圖像。只需簡單操作即可實現(xiàn)明 暗場,偏光,微分干涉等多種成像方式。 |
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專業(yè)無限遠(yuǎn)長.工作距金相物鏡鏡頭可以 達(dá)到高透過率與高清晰度,真實還原樣 品的自然色彩。除了明場觀察,還能勝 任暗場、偏光和微分干涉觀察。 |  |
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 | 5X、10X、 20X、 50X、 100X等不同倍率 的物鏡，配合燕尾式轉(zhuǎn)換器,拆裝方便，既可 實現(xiàn)大視野、大工作距測量,又可以實現(xiàn)高倍 高精度測量。 無論是測量大型部件還是精細(xì)元件,或是表面 高度差異大的樣品, TM自動工具測量顯微鏡 都可以應(yīng)對并協(xié)助用戶選擇的觀察方法。 |
人體工學(xué)設(shè)計實現(xiàn)舒適操作性 任何的研究,都需要人親自實踐。 人體的舒適度在很大程度上主導(dǎo)了工作的進(jìn)展、效率、完成度。 Tm自動工具測量顯微鏡努力讓工具盡量適合人體的自然形態(tài),這樣在使用工具的過程中, 人的身體無需主動適應(yīng),從而減少使用工具造成的疲勞。 | |
 | 仰角可調(diào)觀察筒使操作變得舒適而簡單 這款觀察筒傾斜角在5 °至35°之間可 調(diào)。無論是站立或坐著,都能限度滿 足用戶的操作需求,同時也無需擔(dān)憂用戶 的身高差異。 |
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 | Z軸自動升降配合電動鼻輪一鍵切換 搭配0.1um高精度光柵尺,實時反饋 給操作者真實的位置信息實現(xiàn)精準(zhǔn)定位。 三軸均為電動移動操作,使得平臺移動方 式變?yōu)殡妱涌刂?。更加精?zhǔn),容易控制， 避免反復(fù)工作。配合電動鼻輪實現(xiàn)一鍵切 換倍率,避免操作者與鏡頭等光學(xué)部分的 直接接觸。 |
| 精密的測量工具保證結(jié)果的準(zhǔn)確性 測量的意義在于還原樣品的。 測量工具的嚴(yán)謹(jǐn)恰好體現(xiàn)了品牌的品質(zhì)。隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要。 TM自動工具測量顯微鏡采用0.1μ m讀數(shù)的3軸測量系統(tǒng),利用X、Y軸高精度光柵尺可進(jìn)行水平方向測量, 電動Z軸調(diào)焦可操作性強(qiáng),降低疲勞。 | |
 | 多功能的落射照明器 采用LED燈源，更耐用。色 溫可選,滿足不同的場景需 求?？蛇M(jìn)行簡易偏光、暗場 以及濾色后的觀察。 |
運(yùn)動控制實現(xiàn)自動化 | |
 | 自動移動平臺 平臺移動可通過軟件控 制,可實現(xiàn)平臺移動全 自動化 |
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自動物鏡轉(zhuǎn)換器 通過軟件控制物鏡轉(zhuǎn)換器， 自動切換物鏡 |  |
| 獨(dú)立裂像光源輔助對焦 獨(dú)立的裂像光源控制器，可根據(jù)樣品不同背景進(jìn)行光源亮度調(diào)節(jié)，清晰準(zhǔn)確顯示焦面。 有兩種裂像圖案可供選擇,并隨意切換。 | |
明襯 |
焦點上方 |
暗襯 |
焦點中間 |
焦點下方 | |
一鍵生成報告,高可靠性高效率 測量結(jié)果可以一鍵輸出, 避免了在記錄數(shù)據(jù)過程中發(fā)生錯誤的可能性。 |
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| 自主研發(fā)測量軟件,操作簡單功能強(qiáng)大 全自動工具顯微鏡配備了功能強(qiáng)大的測量軟件，操作簡單，客戶可根據(jù)需求編好量測程序， 量測產(chǎn)品時只需導(dǎo)入量測程序即可自動量測；對于復(fù)雜的形狀，也可以進(jìn)行高精度測量。 |
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應(yīng)用實例
★IC*封裝bumping尺寸測量 |
★PCB板焊腳測量 |
★IC*封裝bumping對位精度測量 |
★液晶面板TFT測量 |
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