1KW射頻自動(dòng)匹配器

1KW自動(dòng)匹配器

由國(guó)內(nèi)外提供技術(shù)，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的GMPOWER品牌射頻自動(dòng)匹配器，廣泛適用于等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強(qiáng)、感應(yīng)加熱以及太陽(yáng)能制造設(shè)備PECVD制造中，具有功率覆蓋范圍大（50W-5KW）、匹配時(shí)間短（≤3秒）、指示功能全、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)，可通過(guò)數(shù)字接口實(shí)施計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)采集和控制，輕松實(shí)現(xiàn)時(shí)入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測(cè)量。該匹配器與電源*獨(dú)立，可配置AE、COMDEL、MKS等多家品牌的射頻電源，限度節(jié)約射頻系統(tǒng)成本

產(chǎn)品描述

*功率：1KW/、2KW、5KW 頻率：13.56MHz

*系統(tǒng)采用高速配算法，即使系統(tǒng)處于高Q值也可在接近匹配點(diǎn)時(shí)減速，達(dá)到精確匹配效果

*標(biāo)準(zhǔn)配置采用可調(diào)的L型匹配網(wǎng)絡(luò)，滿(mǎn)足絕大部分負(fù)載要求，也可根據(jù)客戶(hù)負(fù)載陰抗設(shè)計(jì)配置匹配網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)匹配

*射頻接口可選擇同軸輸出,銅帶輸出