上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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雙頻激光干涉儀ZLM700

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更新時(shí)間：2015-06-28 03:52:09瀏覽次數(shù)：3413次

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ZLM系列雙頻激光干涉儀是德國(guó)耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的新一代雙頻激光干涉儀。它是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀，不僅能夠精確的測(cè)量數(shù)控機(jī)床的幾何量，如線性度、直線度、垂直度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、平面度、同軸度、數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量的測(cè)量和校準(zhǔn)以及坐標(biāo)機(jī)的調(diào)試等。

在德國(guó)，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中，由于具有*的性能優(yōu)勢(shì)和簡(jiǎn)單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理，德國(guó)耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻干涉原理。

產(chǎn)品功能
     定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床回轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量，廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。

性能優(yōu)勢(shì)
l          真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l          測(cè)量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，各種測(cè)量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測(cè)量直線度），則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購；若后期有其他功能的需求，補(bǔ)充采購功能對(duì)應(yīng)的部件即可。
l          激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快，zui高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測(cè)物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。
l          無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。
l          信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。
l          對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，請(qǐng)選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。

工作原理
型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量，不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差，信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM700
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長(zhǎng)：
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：
一小時(shí)2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：
1mW （激光等級(jí)2）
每束光可測(cè)量的軸數(shù)：
1
線性測(cè)量距離：
40m，可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍：
± 15°，20m軸線范圍
平面度測(cè)量范圍：
20m行程
直線度測(cè)量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：
4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度
zui大加速：
無限制
zui高采樣頻率：
內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：
10分鐘
精度/非線性：
±0.3nm （角隅反射鏡）
±0.1nm （平面反射鏡）
距離測(cè)量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
距離測(cè)量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時(shí)
（20°±0.5°） 真空中時(shí)
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測(cè)量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時(shí)
（20°±0.5°） 真空中時(shí)
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測(cè)量精度：
±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度測(cè)量精度：
±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度測(cè)量精度：
±0.2%實(shí)測(cè)值
±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直線度測(cè)量精度：
±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程
± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程
垂直度測(cè)量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度測(cè)量精度：
±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：
積分信號(hào)
32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間）
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝

與歐洲某品牌激光干涉儀的參數(shù)對(duì)比
　
耶拿爾干涉儀
歐洲某品牌
　
型M700
型號(hào)：XX-XX
工作原理:
雙頻激光干涉原理（外差式, 頻差640MHz）
單頻零差式激光干涉原理，采用遠(yuǎn)程干涉測(cè)量法
波長(zhǎng):
632.991nm
632.991nm
激光輸出功率:
<1mW Class II （可選 Class 3R）
<1mW Class II
1小時(shí)內(nèi)穩(wěn)頻精度:
0.002ppm
0.04ppm
產(chǎn)品壽命內(nèi)穩(wěn)頻精度:
0.02ppm
0.1ppm/年
壽命:
約20000小時(shí)
約8000小時(shí)
穩(wěn)定工藝:
溫度穩(wěn)定法（對(duì)兩種模式進(jìn)行比較，外差式）
零差式（1種模式）
激光束直徑:
6mm （可選3.2mm）
6mm
每束激光可測(cè)量的軸數(shù):
1-6
1
測(cè)量范圍
　
　
距離 :
0...40m，可選120m
0...40m，可選80m
角度:
± 15°，軸線范圍20m
± 5° ，軸線范圍15m
直線度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
垂直度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
分辨率
　
　
距離 （使用角隅反射鏡） :
0.6 nm，速度v= 4m/s
1nm，速度v=4m/s
　
0.3 nm，速度v= 2m/s
　
　
0.1 nm，速度v= 1m/s
　
角度:
0.003角秒（0.015µrad）
0.1µrad
直線度（短距離）:
7nm
10nm
垂直度（短距離）:
7nm
10nm
直線度（長(zhǎng)距離）:
36nm
100nm
垂直度（長(zhǎng)距離）:
36nm
100nm
精度
　
　
距離:
+/-0.4ppm
+/-0.5ppm
角度:
+/-0.1ppm
+/-0.6%實(shí)測(cè)值
直線度（短距離）:
+/-0.5%實(shí)測(cè)值
+/-0.5%實(shí)測(cè)值
垂直度（短距離）:
+/-0.5%實(shí)測(cè)值
+/-0.5%實(shí)測(cè)值
直線度（長(zhǎng)距離）:
+/-2.5%實(shí)測(cè)值
+/-2.5%實(shí)測(cè)值
垂直度（長(zhǎng)距離）:
+/-2.5%實(shí)測(cè)值
+/-2.5%實(shí)測(cè)值
光學(xué)鏡（直線度用）:
差分干涉鏡
無（僅使用一個(gè)Wollaston棱鏡）
系統(tǒng)的線性度:
非常好（這是因?yàn)槭褂昧瞬罘指缮骁R）
不明（取決于Wollaston棱鏡質(zhì)量）
可測(cè)量到的偏差范圍
　
　
直線度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
垂直度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
輔助調(diào)節(jié):
計(jì)算機(jī)輔助調(diào)節(jié)
小孔
接口:
PCI
USB
　
cPCI （PXI）
　
　
USB
　
　
AquadB （積分信號(hào)）
　
　
32bit實(shí)時(shí)
　
采樣速度:
 0.001Hz - 1MHz （可調(diào)）
50 kHz

ZLM700部分應(yīng)用的光路圖


 

 

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