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靈活可變，輕松玩轉(zhuǎn)半導(dǎo)體光譜測量 | 技術(shù)頭條
半導(dǎo)體行業(yè)已邁向爆發(fā)式增長，顯微光譜技術(shù)是半導(dǎo)體材料表征的有效手段之一。普通整機光譜儀往往只能提供單一的顯微光譜測量功能，無法滿足半導(dǎo)體材料表征多變的需求。此時，可靈活定制的 HORIBA SMS 顯微光譜測量系統(tǒng)脫穎而出，讓半導(dǎo)體人輕松玩轉(zhuǎn)光譜測量！
01 靈活光譜系統(tǒng)， 多表征一機到位
SMS 顯微光譜測量系統(tǒng)可根據(jù)研究團隊對半導(dǎo)體的不同測量目標(biāo)，配置相適宜的、高性價比的測量附件，讓光譜系統(tǒng)“活”起來，一機實現(xiàn)多種光譜測量，滿足高靈活的半導(dǎo)體測試分析需求。不僅僅是拉曼、光致發(fā)光以及反射光譜，SMS 還可測量時間分辨光致發(fā)光、透射、暗場散射及電致發(fā)光光譜，以滿足如半導(dǎo)體內(nèi)部應(yīng)力/應(yīng)變表征、純度、異質(zhì)結(jié)構(gòu)、摻雜效果等多種測試目標(biāo)，全力助推行業(yè)技術(shù)成熟進步。
另外，SMS 搭載了 LabSpec 軟件，能控制系統(tǒng)組件和配件，提供高級數(shù)據(jù)采集分析程序，大大提升光譜成像結(jié)果與分析檢測報告效率。軟硬件搭配得當(dāng)，賦予光譜系統(tǒng)強大的控制功能，讓操作流程更簡易便捷，分析結(jié)果更輕松可得。
使用HORIBA LabSpec軟件對穩(wěn)態(tài)PL測量和信號分析處理后，
得到的不同半導(dǎo)體材料的光致發(fā)光光譜表征
此外該系統(tǒng)模塊化的設(shè)計特點還能為后續(xù)儀器設(shè)備升級迭代留下足夠的空間與可能性。
HORIBA的顯微光譜測量系統(tǒng)(SMS)正視圖
其探測器、物鏡及光譜儀皆可實現(xiàn)靈活配置
02 光譜系統(tǒng)搭建，性能與耦合是關(guān)鍵
顯微光譜測量系統(tǒng)的關(guān)鍵在于核心光學(xué)部件的優(yōu)異性能與穩(wěn)定耦合。SMS 的核心部件皆由 HORIBA 原廠制造，HORIBA 擁有 200 多年歷史的品牌 Jobin Yvon 光譜技術(shù)，具備足夠的實力研發(fā)并制造質(zhì)量過關(guān)、性能好的各類光學(xué)部件，包括探測器、光柵及光譜儀等。同時，這些部件經(jīng)過多次搭建安裝測試與驗證，能有效保證彼此間互相兼容，始終保持穩(wěn)定耦合。
此外，正是由于各關(guān)鍵部件皆由 HORIBA 制造，能從根本上杜絕因不同部件分屬不同制造商而導(dǎo)致的維護責(zé)任歸屬問題，讓用戶使用時無后顧之憂。
HORIBA 顯微光譜測量系統(tǒng) (SMS) 是基于標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡的模塊化、靈活搭建的顯微系統(tǒng)，既能保證顯微鏡的成像性能也能保證光譜性能。那么它是如何通過配置不同附件來實現(xiàn)不同光譜測量，從而滿足半導(dǎo)體材料的測試目標(biāo)的？不同的光譜測量技術(shù)對于半導(dǎo)體材料分析意味著什么？還有哪些需要注意的？更多詳細(xì)信息，請掃描下方二維碼查看。
