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詳細(xì)介紹
FC-R7800系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質(zhì)密封具備優(yōu)異的低泄漏特性，可適用于絕大多數(shù)氣體控制應(yīng)用。提供行業(yè)通用和AE電氣信號(hào)可選方案，可方便對(duì)用戶使用的質(zhì)量流量控制器（MFC）進(jìn)行替換，操作簡(jiǎn)單。
特點(diǎn)：
◆高精度
◆高信賴和可靠性
◆耐腐蝕設(shè)計(jì)
◆采用金屬密封材質(zhì)
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM－200SLM滿量程范圍
◆方便的互換性
◆高速應(yīng)答優(yōu)秀的統(tǒng)一性，目前世界上有大約7萬(wàn)只在運(yùn)行中的產(chǎn)品，內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽(yù)
◆方便的互換性
性能指標(biāo) FC-R7800CD/FC-R7800D系列 FC-R7810CD/FC-R7810D系列 FC-R7820CD/FC-R7820D系列 滿量程范圍 10Sccm-5Slm N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** 35-200Slm 響應(yīng)時(shí)間 滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒 滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒 精度 ≤±1%滿量程 ≤±2%滿量程 線性鍍 ≤滿量程±0 5% ≤滿量程±0 5% ＃1 ≤滿量程±1% 重復(fù)性 ≤滿量程±0.2% 泄漏率 1X10E-11 Pa.m 3/sec 控制范圍 滿流量的2%-5% #2 壓差 49Kpa-275Kpa 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa 147Kpa-275Kpa 正常工作壓 力 490Kpa 進(jìn)氣壓力 980Kpa 溫度范圍 5-45℃(41-113℉) 輸入電源 +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA 功率 3.1W max 3.5W max 輸入信號(hào) 0-5 VDC 輸出型號(hào) 0-5 VDC 控制閥形式 常開(kāi)或常閉電磁閥 密封件 金屬密封 材質(zhì) 316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠） 標(biāo)準(zhǔn)接口 1/4"VCR和Swagelok兼容 3/8"VCR,1/4"VCR 重量 1.0KG 2.7KG ＃1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1% ＃2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-99% ＃3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa
技術(shù)參數(shù)：
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