GeH4/鍺烷分析氦離子氣相色譜儀

系統(tǒng)依據(jù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):

GB/T 31987-2015 電子工業(yè)用氣休 鍺烷

Items/檢測項： O2、N2、H2、CH4、CO2、CO、C1-C4、

SiH4(硅烷)、PH3(磷烷)、AsH3(砷烷)、二鍺烷、H2S、

    GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品以GC-126氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化（PDHID）檢測器；采用克柔姆公司擁有專業(yè)技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)，其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
    高純氣體的分析是一個復(fù)雜的過程，不僅需要高靈敏的檢測器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)，克柔姆色譜公司總結(jié)了高純氣體分析過程中的技術(shù)難點，并給出了所有難點的解決措施，使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為工業(yè)氣體行業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)，很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級的雜質(zhì)的分析。