S49 32/MT 質(zhì)量流量計

1. 特點及主要應(yīng)用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）Mass gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制的設(shè)備。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)特點：

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；

分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制；

各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

環(huán)境檢測與分析設(shè)備；

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

2. S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)型號

S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計)，S49為質(zhì)量流量控制器(流量計)產(chǎn)品，32/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計序列號。

質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量精確測量計量；

質(zhì)量流量控制器(流量計)不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質(zhì)量流量功能。

型式批準(zhǔn)證書：2011F215-11

執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

許可證編號：京制號

3.主要技術(shù)指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標(biāo)定。

質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

L/min （升/分鐘）。  (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）；

            氣壓----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標(biāo)