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多用途ECR微波等離子體系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地成都市

聯(lián)系方式：季天仁查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-11-09 10:52:18瀏覽次數(shù)：107次

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多用途ECR微波等離子體系統(tǒng)成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事微波能和微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)。公司目前已擁有一支集高頻，微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機(jī)械以及成套工程技術(shù)和高級(jí)管理相結(jié)合的精干技術(shù)隊(duì)伍。其中包括有教授級(jí)高工、機(jī)械和電氣高級(jí)工程師、經(jīng)濟(jì)師、工程師、高級(jí)技師和碩士研究生等。和瑞具有完備的測(cè)試手段，包括微波網(wǎng)絡(luò)分析儀，計(jì)算機(jī)CAD和仿真系統(tǒng)，多種*的微......
性能特點(diǎn)

◆多端口、雙層水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔。
◆高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。
◆微波功率輸出穩(wěn)定性高。
◆適合金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工；基片的刻蝕和灰化；作為高密度、寬束離子源；低溫氧化物的生長(zhǎng)；等離子體表面處理和其它實(shí)驗(yàn)加工。
◆性能*，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡(jiǎn)便。
◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集與記錄，計(jì)算機(jī)控制，多重聯(lián)鎖保護(hù)與報(bào)警。

技術(shù)指標(biāo)
（1） 型號(hào) HMEP-2030C
（2） 電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz
（3） 微波輸出功率 0.3~3kW 連續(xù)可調(diào)
（4） 功率穩(wěn)定度 ≤±1%（@額定功率）
（5） 紋波 ≤1%
（6） 微波頻率 2450MHz±50MHz
（7） 磁場(chǎng) ＞875GS
（8） 磁場(chǎng)電源 50V 150A
（9） 極限真空度 6×10-6torr
（10） 工作氣氛 四路（可用戶定制）
（11） 微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（12） 工作環(huán)境 溫度15~40℃，相對(duì)濕度≤60%，無(wú)腐蝕性氣體
（13） 冷卻水 ＞10L/Min

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