成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
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HMPS-9750S微波等離子體CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

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所  在  地成都市

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更新時(shí)間：2023-11-09 10:56:10瀏覽次數(shù)：168次

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HMPS-9750S微波等離子體CVD設(shè)備 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是專(zhuān)業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及其設(shè)備生產(chǎn)、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的企業(yè)。公司近年已為中科院、中物院、吉林大學(xué)、南京大學(xué)、四川大學(xué)等、寧波晶鉆公司、北京沃爾德公司等科研院所、企業(yè)以及國(guó)外客戶(hù)提供了近百臺(tái)MPCVD設(shè)備，憑借產(chǎn)品優(yōu)異的性能和高質(zhì)量的服務(wù)，公司獲得用戶(hù)廣泛認(rèn)可和好評(píng)。
性能特點(diǎn)

◆微波反應(yīng)腔新型設(shè)計(jì)，功率密度大。

◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高、沉積面積超過(guò)6inch。

◆開(kāi)關(guān)型微波功率源，微波功率輸出穩(wěn)定性高。

◆適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。

◆性能*，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡(jiǎn)便。

◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集與記錄，PLC屏幕控制，多重聯(lián)鎖保護(hù)與報(bào)警。

技術(shù)指標(biāo)
（1） 型號(hào) HMPS-9750S
（2） 電源 AC380±10% V 三相五線(xiàn)制 50Hz，額定輸入≤150KVA
（3） 微波輸出功率 5~75kW 連續(xù)可調(diào)
（4） 功率穩(wěn)定度 ≤±1%（@滿(mǎn)功率）
（5） 紋波 ≤1%
（6） 微波頻率 915MHz±15MHz
（7） 測(cè)溫方式 紅外雙波長(zhǎng)475-1475℃
（8） 極限真空度 6×10-6torr
（9） 腔體內(nèi)工作壓力 7torr~250torr
（10） 自動(dòng)氣壓控制 ±0.1torr
（11） 等離子放電區(qū)域 Φ≥125mm
（12） 有效沉積區(qū)域 Φ≥100mm
（13） 工作氣氛 五路（可用戶(hù)定制）
（14） 微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（15） 工作環(huán)境 溫度15~40℃，相對(duì)濕度≤60%，無(wú)腐蝕性氣體
（16） 冷卻水 ＞210L/Min

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