CVD/CVI/PECVD系統(tǒng)

1.高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成，真空可達(dá)10-4Pa；
2.可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力，實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
3.數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；
4.每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性；
5.采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；
6.管路采用世界Swagelok卡套連接，不漏氣；
7.超溫、過壓時(shí)，自動切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，使用安全可靠；
8.PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，更容易發(fā)生反應(yīng)。