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FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
FFU能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
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更新時間：2024-01-24 13:49:26瀏覽次數(shù)：1105
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FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
FFU能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
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