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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹及用途
本系列產(chǎn)品供科研院所、高等院校、工礦企業(yè)等單位用作半導(dǎo)體、貴金屬、晶體等材料的區(qū)域加熱燒結(jié)，區(qū)熔（提純、晶體生長）等用途。是本公司自行研制開發(fā)的高性能新型特種電爐，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)新穎，操作簡便，綜合性能指標(biāo)較高，處于水平。
本系列產(chǎn)品在各溫度環(huán)境下，可以分別實(shí)現(xiàn)坩堝上升法、坩堝下降法等水平狹窄區(qū)域連續(xù)熔煉工藝及坩堝口或坩堝底固定區(qū)熔工藝等多種工藝，并可通簡易氣氛（氮?dú)?、氧氣及惰性氣體）。并采用多段可編程式溫度控制器全過程自動(dòng)控制溫度，可進(jìn)行周期作業(yè)式生產(chǎn)，是理想的新型實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)裝備。
產(chǎn)品性能特點(diǎn)
全陶瓷纖維爐膛 爐溫均勻
一爐實(shí)現(xiàn)多工藝 設(shè)計(jì)巧妙
升降速度范圍廣 穩(wěn)定可調(diào)
智能型程序溫控 過程自動(dòng)
系列產(chǎn)品主要規(guī)格和技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 單位 | DMF系列晶體生長爐 | ||||||||||
| DMF-160-14型 | DMF-250-14型 | DMF-350-14型 | ||||||||||
| 額定加熱功率 | kW | 4 | 5 | 6 | ||||||||
| 電壓/頻率 | V/Hz | 220/50-60 | 220/50-60 | 220/50-60 | ||||||||
| 工作室尺寸 | mm | 80*200*260 | 80*250*350 | 100*300*450 | ||||||||
| 工位升降行程 | mm | 160 | 250 | 350 | ||||||||
| 工位升降速度(可設(shè)) | mm/24h | 1-100 | 1-100 | 1-100 | ||||||||
| 溫度 | ℃ | 1450 | ||||||||||
| 額定工作溫度 | ℃ | 室溫~1350 | ||||||||||
| 空爐升溫時(shí)間 | min | ＜60 | ＜60 | ＜60 | ||||||||
| 溫度均勻度 | ℃ | ≤±2 | ≤±2 | ≤±2 | ||||||||
| 溫控波動(dòng)度 | ℃ | ±1 | ||||||||||
| 溫控方式 |
| 智能型程序模糊PID控制 | ||||||||||
| 電爐外形尺寸 | mm | 500*560*475 | 500*560*600 | 520*620*700 | ||||||||
| 外形尺寸 | mm | 500*830*1800 | 550*900*1980 | 570*960*2150 | ||||||||
| 重量(毛重) | kg | 800 | 900 | 1150 | ||||||||
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