高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050

◆ 大探針電流90nA，實現(xiàn)快速加工和大面積加工

焊線的截面加工

（加工尺寸　寬：95µm　深：55µm， 加工時間　20min）

◆ 通過提高極低加速電壓（0.5kV～）加工及低加速電壓二次電子圖像分辨率，實現(xiàn)制備損傷率更低的TEM樣品

*1kV以下為選配

◆ 可觀察高分辨率SIM成像（二次電子成像分辨率高達4nm@30kV）

        正常部位                彎折部位

                鋁罐的截面SIM圖像

◆ 采用高精度5軸電動機械優(yōu)中心馬達臺

可在樣品臺移動（包括傾斜）時自動對多個部位進行多種加工。

◆ *的操作性能和多種多樣的加工模式

截面制備程序加工

TEM/STEM樣品程序加工

自動連續(xù)加工

TEM樣品自動連續(xù)精加工軟件

位圖加工

Vector Scan加工

制備納米精度三維結(jié)構(gòu)樣品 其他

懸空納米導線制作

樣品來源：兵庫縣立大學 松井真二 先生

◆ SIM像三維重構(gòu)分析

等間隔截面加工與截面觀察的往復進行，可取的多張截面連續(xù)SIM像，并進行3維重構(gòu)。由此可判斷樣品中顆粒，孔洞等3維分布狀態(tài)。

                                                                    半導體封裝材料中的填料分布分析示例

◆ 使用多路氣體系統(tǒng)（MGS-II）修復電路

該系統(tǒng)可對應保護膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途，照射多種氣體。

 鎢沉積氣體

 鉑沉積氣體

 絕緣膜制備用沉積氣體

 氟化氙蝕刻氣體

 有機類蝕刻氣體

 碳沉積氣體

使用XeF2氣體實現(xiàn)的大深徑比孔加工

以及采用鎢沉積引線

◆ 豐富多樣的坐標鏈接功能

日立公司的坐標鏈接功能豐富多樣，可確定正確的加工位置和大幅縮短時間。

 光鏡圖像與SIM像的鏈接

 雙光標功能

 日本zhuanli第4634134號 美國zhuanli第7595488號

 與缺陷檢測設備建立坐標鏈接

 已截斷的晶元或芯片也可與缺陷檢測設備建立坐標鏈接。

 CAD聯(lián)用導航軟件

 4通道供氣系統(tǒng)

 自動連續(xù)加工軟件

 TEM樣品自動加工軟件

 控制器顯微鏡 其他

*：可選擇其他MI系列的各種選配件。