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詳細(xì)介紹
甲岸科技等離子去膠機135L
甲岸科技等離子去膠機對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除，提高材料清潔度、附著力、粘接力以及表面分子的活性，滿足用戶對產(chǎn)品表面處理需求。
產(chǎn)品應(yīng)用
1、適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形進行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜
2、提高材料清潔度、附著力、粘接力以及表面分子的活性
產(chǎn)品特點
- 操作簡單、易維護。
- 可以根據(jù)客戶需求定制。
- 進口針閥精密流量控制計，精度高。
- 引進德國核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
- 多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
- 316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
型 號 | AP-RR12 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~100W 可調(diào) | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 316L不銹鋼、航空鋁（選配） |
腔體內(nèi)部尺寸 | 360*800*650（寬*高*深(MM)) | ||
腔體容積 | 135 L | ||
處理***尺寸 | 12英寸 | ||
密封性 | 級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵+羅茨泵組合（選配） | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 1×105~1×10-1Pa | ||
質(zhì)量流量計 | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | ||
極限真空 | 5Pa | ||
流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | ||
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | ||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840(寬*高*深） | |
重 量 | 280KG | ||
設(shè)施配置 | 電 力 | 單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。 | |
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