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等離子刻蝕機30L

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更新時間:2024-04-28 12:23:07瀏覽次數(shù):165

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產(chǎn)品簡介

應用范圍 適用于所有的基材及復雜的幾何構(gòu)形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

詳細介紹

甲岸科技等離子刻蝕機 30L


甲岸科技等離子刻蝕機對進行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現(xiàn)各項異性刻蝕,確保細小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。滿足用戶對產(chǎn)品表面處理需求。



產(chǎn)品應用


1、適用于所有的基材及復雜的幾何構(gòu)形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。



產(chǎn)品特點


  • 小巧靈活、操作簡單、易維護。
  • 引進德國核心等離子技術(shù),質(zhì)量有保障。
  • 進口針閥精密流量控制計,精度高。
  • 材質(zhì)耐腐蝕,環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
  • 多路工藝反應氣體通道,保證產(chǎn)品清洗效果。
  • 可以根據(jù)客戶需求定制




型  號

AP-E30

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~500W   可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英、航空鋁(選配)

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

400*200*400

腔體容積

30L

極板

1層

密封性

級焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

薄膜硅

氣體流量計

<±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權(quán)限操作;

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息;

6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數(shù);

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結(jié)束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (寬高深)

重  量

280KG

設施配置

電  力

五線,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單。


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