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更新時(shí)間：2024-05-22 14:41:42瀏覽次數(shù)：83
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等離子表面處理是通過(guò)對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
真空等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為五大組成部分：控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。
（A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個(gè)真空等離子清洗設(shè)備的運(yùn)行，以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。
（B）激勵(lì)電源系統(tǒng)：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì)，真空等離子采用射頻電源（0-1000W）或中頻電源（0-2000W）進(jìn)行激勵(lì)，射頻電源頻率13.56MHz，中頻電源頻率40KHz。參數(shù)根據(jù)樣品實(shí)際情況可進(jìn)行調(diào)節(jié)，可達(dá)到的改性效果。
（C）真空腔體：真空腔體主要分為三種材質(zhì)：①不銹鋼真空腔體 ②石英腔體 ③高強(qiáng)度鋁合金腔體
電極板放置方式：①平板水平電極式 ②平板垂直電極式
根據(jù)不同行業(yè)與應(yīng)用領(lǐng)域選擇腔體材質(zhì)和電極板放置方式。
（D）工藝氣體系統(tǒng)：標(biāo)配兩路工藝氣體，根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氬氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣、四氟化碳?xì)怏w。
（E）真空泵系統(tǒng)：真空泵組主要分為三種：①油泵 ②羅茨泵 ③干泵
抽真空速度是決定一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。根據(jù)測(cè)量樣品的真空度要求和體積要求來(lái)配置真空泵組。
| 外形尺寸 | 1020*1720*1120mm（寬*高*深） |
| 重量 | 350KG |
| 設(shè)備外觀顏色 | 銀灰色 |
| 射頻電源 | 功率：0~600W 頻率：13.56MHz |
| 中頻電源 | 功率：0~2000W 頻率：40KHz |
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 500*500*675mm（寬*高*深） |
| 厚度 | 25mm |
| 材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
| 密封性 | 級(jí)焊接密封 |
| 電極板有效尺寸 | 587*470mm（寬*深） |
| 可用空間間距 | 34mm |
| 工作空間 | 8層 |
| 工作托盤(pán) | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)） |
| 電極板布置方式 | 水平布置，可活動(dòng)抽取 |
| 泵組 | 雙級(jí)旋片泵（油泵）或羅茨泵+單級(jí)旋片泵 |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 |
| 流量范圍 | 0~300SCCM |
| 工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路，可定制（氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、四氟化碳?/span> |
| 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 交互方式 | 7寸觸控屏幕 |
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