分體式復(fù)合分子泵

意塔爾分子泵：ETR-F 系列的抽吸能力從 10-5000 升L/S秒，全系列緊湊且的渦輪分子泵。有一體式及分體式兩種規(guī)格，其具有高性價(jià)比、高可靠性能抽速和安裝角度的靈活性。更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體 具有更高的壓縮比。1、 一體控制：控制器一體化設(shè)計(jì)，便于系統(tǒng)集成，可以一鍵啟停； ......

意塔爾分子泵：ETR-F 系列的抽吸能力從 10-5000 升L/S秒，全系列緊湊且的渦輪分子泵。有一體式及分體式兩種規(guī)格，其具有高性價(jià)比、高可靠性能抽速和安裝角度的靈活性。更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體 具有更高的壓縮比。1、 一體控制：控制器一體化設(shè)計(jì)，便于系統(tǒng)集成，可以一鍵啟停； 2、精密軸承：脂潤(rùn)滑精密陶瓷球軸承，可任意角度安裝；3、 產(chǎn)品可靠：渦輪轉(zhuǎn)子一體成型，無(wú)位置傳感器高速電機(jī)驅(qū)動(dòng)；4、功能多樣：配件齊全，可提供客戶定制方案； 5、 提供轉(zhuǎn)速可調(diào)功能，滿足客戶一款泵多種抽速的需求； 廣泛應(yīng)用于：半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光伏、半導(dǎo)體封裝、物理氣相沉積PVD/CVD、離子注入系統(tǒng)、加速器、長(zhǎng)晶爐、核聚變研究、真空干燥、真空成型、反應(yīng)釜、真空鍍膜、半導(dǎo)體工業(yè)、鋰電池制造工藝、芯片制造、平板顯示器、光伏太陽(yáng)能、真空吸附、真空爐、真空熱處理、鋼和其他冶金、蒸餾/萃取/過(guò)濾、制藥其它工藝脫氣/脫泡、分析儀器、高校院所等行業(yè)。