詳細(xì)摘要： 潔凈棚經(jīng)濟(jì)性高改變了潔凈棚的傳統(tǒng)設(shè)計觀念，迷你潔凈單元采取模組化整合設(shè)計概念，此架構(gòu)類似SMIF形式，有各種獨(dú)立的潔凈區(qū)，區(qū)別在于其傳送方式不是以連接臂進(jìn)行，而...