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詳細介紹
Turbo-V 551 Navigator
采用 MacroTorr 拖動技術(shù)的 Turbo-V 551 Navigator 渦輪分子泵能為一系列高真空應用提供高壓縮比、高抽氣量和高出口壓力。 V 551 內(nèi)的軸承和性干式潤滑劑消除了油的使用，實現(xiàn)了免維護，并允許泵在任意角度安裝進行操作。 安捷倫（前瓦里安）可提供配備 Navigator 泵機一體式控制器（集成了電子設備）或標準機架式控制器（用于簡單安裝）的 V 551 泵。 Turbo-V 551 可單獨作為泵出售，也可以與控制器、進氣口濾網(wǎng)和電源線一起作為機組套件出售。 還擁有專為掃描電子顯微鏡優(yōu)化的泵版本，能限度地減少振動和磁場特征。
特性
- MacroTorr 牽引技術(shù)在緊湊經(jīng)濟的儀器中實現(xiàn)了更高的前級耐壓、更高的效率以及更小的前級泵
- 固體潤滑劑極低的蒸汽壓保證了泵陶瓷軸承能保持潤滑
- 泵可以在任意角度安裝和運行
- 免維護、無油、無填充、無污染
- 精密的加熱設計減少了熱耗散和功耗
- Navigator 泵機一體式控制器能提供即刻抽空操作，或者選用機架式控制器以匹配您當前的系統(tǒng)體系
- 可選擇在您的 PC 上運行 T-plus 軟件以進行遠程操作和性能監(jiān)控
- 用于 SEM 的泵采用比懸浮泵更的震動隔離系統(tǒng)，并且在同類產(chǎn)品中有著的磁場特征
性能指標
技術(shù)指標
| 泵速 | 氮氣 | 氦氣 | 氦氣 |
| CFF 6 英寸 | 350 L/s | 450 L/s | 450 L/s |
| CFF 8 英寸或 ISO 160 | 550 L/s | 600 L/s | 510 L/s |
| 壓縮比 | 1 x 109 | 1 x 107 | 1 x 106 |
| 極限真空（采用推薦前級泵） | 小于 1 x 10-10 mbar（小于 1 x 10-10 Torr） | ||
| 進氣口法蘭選擇 | CFF 6 英寸；CFF 8 英寸；ISO 160；ISO 160-F 螺栓 | ||
| 前級管道法蘭 | KF25 | ||
| 轉(zhuǎn)速 | 42000 rpm | ||
| 啟動時間 | 小于 5 分鐘 | ||
| 推薦的前級泵 | Agilent TS300 干式渦旋泵； | ||
| Agilent DS-302 旋片泵 | |||
| 工作位置 | 任意 | ||
| 冷卻要求 | 自然空氣對流； | ||
| 可用水冷（請使用導電性為 500 µS/cm 的水） | |||
| 烘烤溫度 | 120oC 在進氣口法蘭處，值（CF 法蘭）； | ||
| 80oC 在進氣口法蘭處，值（ISO 法蘭） | |||
| 振動參數(shù)（位移） | 在進氣口法蘭處小于 0.01 μm | ||
| 重量，kg（磅） | ISO 法蘭：19.4 (43.0); | ||
| CF 和 ISO 螺栓法蘭： 23.4 (51.6) | |||
抽速圖
外形圖
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