真空抽氣機(jī)組的特點(diǎn)

真空抽氣機(jī)組概況及原理

ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵，是ZJ型羅茨真空泵的派生產(chǎn)品，抽氣原理與ZJ型泵一樣，它也是利用一對(duì)８字形轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙，作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的。所不同的是ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵的進(jìn)、排氣口相連通，在二者的通道上垂直地安裝著一個(gè)重力閥。其作用是當(dāng)進(jìn)氣口和排氣口的壓力差與閥的有效作用面積的乘積超過閥頭的自重時(shí)，閥頭就自動(dòng)頂開。這個(gè)數(shù)值是泵可靠運(yùn)轉(zhuǎn)的高壓力差值，因此，這種閥實(shí)際上就是一種過載自動(dòng)保護(hù)閥，也是ZJP 型帶旁通閥羅茨真空泵的大優(yōu)點(diǎn)。

真空抽氣機(jī)組的特點(diǎn)

主要特點(diǎn)：

• 無油潔凈，滿足各種無油及腐蝕性特殊工況要求
• 過載自動(dòng)保護(hù)，適合高壓差工況，運(yùn)行安全、可靠
• 高精度、高轉(zhuǎn)速、高效率，降低使用成本，提高經(jīng)濟(jì)效益
• 無泄漏、低噪聲、低震動(dòng)，運(yùn)行、維護(hù)成本更低
• 不銹鋼機(jī)械密封，密封性能穩(wěn)定、使用壽命長(zhǎng)。

真空抽氣機(jī)組的特點(diǎn)

規(guī)格參數(shù)：

因而用戶可根據(jù)不同的使用要求來正確選擇機(jī)組的級(jí)數(shù)。用戶如有特殊要求也可與本公司直接，由本公司相關(guān)技術(shù)人員來選型。

真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、油增壓泵、增擴(kuò)泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動(dòng)、手動(dòng)、電動(dòng)閥門、管道等組成。根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等)，真空測(cè)量可選擇數(shù)字式智能真空計(jì)及其的測(cè)量規(guī)管，及其它測(cè)量?jī)x器，如自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀等。