詳細(xì)介紹
主要技術(shù)指標(biāo)常規(guī)的處理量:0.1-50g升華區(qū)溫度:50-800℃沉積區(qū)溫度:50-500℃爐管尺寸: Φ50x1200 mm高純石英管加熱區(qū)分布:100+200+100+100+100mm控溫點(diǎn)數(shù)量:5點(diǎn)獨(dú)立控溫(5points temp. control independently)控溫方式:數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表,采用模糊型PID控制開門式爐體結(jié)構(gòu)上下翻蓋液壓手動(dòng)開啟極限真空(潔凈系統(tǒng)))5X10-5Pa分子泵抽氣速率:100L/S額定功率:5KW額定電壓:AC 220V Single Phase,50/60 Hz過濾方式:系統(tǒng)采用三級過濾保護(hù)裝置,分別采用多級微孔金屬濾網(wǎng)、液氮內(nèi)嵌式冷凝、90度直角臺階式過濾