一、半導(dǎo)體無塵烤箱設(shè)備用途:
   半導(dǎo)體無塵烤箱Class 100百級潔凈無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二、半導(dǎo)體無塵烤箱產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100級；
2、內(nèi)膽四周氬弧焊，耐高溫硅膠密封，SUS304#不銹鋼加熱器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
3、采平面水平送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4、箱內(nèi)空氣封閉強(qiáng)制自循環(huán)，經(jīng)耐高溫空氣過濾器反復(fù)過濾，使干燥箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。水平循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，溫度控制精度。
5、配壓差計(jì)隨時(shí)了解過濾器工作狀態(tài)。

三、半導(dǎo)體無塵烤箱潔凈度100級的潔凈熱處理：
HEPA高效過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與Class 100級潔凈度小限度控制風(fēng)速距離。

三、技術(shù)參數(shù)：