北京飛凱曼公司提供光子晶體探測器型成像橢偏儀。這種光子晶體探測器型的成像橢偏儀是有日本PHL公司*，并應用到的測試中。日本PHL公司在光子晶體的研究和制造領域世界，由此開發(fā)出的光子晶體探測器型具有測試速度快、測量準確、免維護、價格低廉等特點已經在光學薄膜、半導體薄膜、有機薄膜等領域有著廣泛的應用。該可快速準確測量薄膜的厚度和折射率的分布。

相比傳統的光譜型，光子晶體探測器型避免了探測器的機械運動。使得測試速度更快、測試更加準確、成本更加低廉。

ME-210型光子晶體探測器型特點：

1. 可用于8英寸樣品的3D快速成像
2. 可用于厚度差異小于1nm以內的薄膜的快速和高精度成像
3. 超高速測量，zui高速度可達20000點/分鐘
4. 超高分辨率的測量，zui小面積可達50um2
5. 可進行透明基底上的薄膜的測試

技術規(guī)格：

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