擴(kuò)散爐熱電偶

    半導(dǎo)體專用測(cè)溫儀表擴(kuò)散爐熱電偶分為：多晶鑄錠爐熱偶、擴(kuò)散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點(diǎn)式擴(kuò)散爐熱電偶等，各種產(chǎn)品形態(tài)不一，大小與結(jié)構(gòu)也盡不相同。做為高精度擴(kuò)散爐熱電偶來(lái)說(shuō)，為各大光伏產(chǎn)業(yè)帶來(lái)了許多幫助。該產(chǎn)品為了生產(chǎn)加工PECVD的隔離導(dǎo)電性，外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成，采用多個(gè)點(diǎn)位精確測(cè)量，也有用戶采用多點(diǎn)測(cè)量法計(jì)算出爐內(nèi)的平均值從而獲得應(yīng)有的數(shù)據(jù)。

    溫度測(cè)量在0~1800℃中使用，測(cè)量點(diǎn)分為單點(diǎn)和多點(diǎn)，點(diǎn)可達(dá)8個(gè)點(diǎn)的測(cè)量，精度符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，工業(yè)等級(jí)I級(jí)，1500度誤差2℃不到，精度相當(dāng)高，代替進(jìn)口產(chǎn)品。擴(kuò)散爐熱電偶用于光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體的開(kāi)發(fā)與研制、科研領(lǐng)域、單位、進(jìn)口設(shè)備（如：Centrotherm擴(kuò)散爐設(shè)備、ALD真空感應(yīng)爐、GT Solar 的 DSS 爐等）、燒結(jié)爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴(kuò)散爐等，可溶化多晶硅、生長(zhǎng)多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無(wú)定形硅和玻璃等工藝測(cè)溫。

技術(shù)參數(shù)：
1、符合IEC584 GB/T18404-2001標(biāo)準(zhǔn)

2、精度等級(jí)：CLASS-A:0.25% ；CLASS-B:0.5%

3、Spike TC是用來(lái)測(cè)量與控制爐管外的各點(diǎn)溫度

4、profile TC與Paddle TC是用來(lái)測(cè)量與控制爐管內(nèi)各點(diǎn)溫度

5、與spike和profile配套使用，可自動(dòng)切換方式進(jìn)行控溫

6、壽命長(zhǎng)、精度高、穩(wěn)定性好、交貨期短、可代替進(jìn)口

7、擴(kuò)散爐熱電偶總長(zhǎng)含頭1750mm。（5點(diǎn)長(zhǎng)：1700、1530、1200、870、700）

擴(kuò)散爐熱電偶產(chǎn)品選型：

    擴(kuò)散爐爐外熱電偶（可帶螺紋、法蘭、裸露式）：

    擴(kuò)散爐爐內(nèi)熱電偶（爐內(nèi)、爐外）：

    擴(kuò)散爐爐內(nèi)外熱電偶（鎧裝式、爐內(nèi)、爐外、可彎曲）：