DR系列羅茨真空泵

DR系列羅茨泵真空泵是一款技術(shù)成熟的真空獲得設(shè)備，與前級(jí)泵配合組成后，擴(kuò)展了前級(jí)真空泵在較低入口壓力下的工作范圍，可應(yīng)用于廣泛的工業(yè)用途。

●提高真空度

按照一般經(jīng)驗(yàn)，在配置羅茨真空泵后，系統(tǒng)真空度可提高1個(gè)數(shù)量級(jí)，如配備兩級(jí)羅茨泵，系統(tǒng)真空度可進(jìn)一步提高。

●增大抽速

羅茨泵的一對(duì)轉(zhuǎn)子在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)沒有相互接觸，因此可以高速運(yùn)轉(zhuǎn)，幾何尺寸較小的羅茨泵也能達(dá)到較高的抽速。通過選擇合適的前級(jí)泵與羅茨泵組合，可使小抽速的前級(jí)泵實(shí)現(xiàn)抽除大量氣體，相比相同抽速的單一前級(jí)泵，可明顯降低能耗。

●無油運(yùn)行

羅茨泵的泵腔內(nèi)無油，因此抽送介質(zhì)不會(huì)被污染。

特性

因?yàn)閭鲃?dòng)結(jié)構(gòu)采用了柔性的液力裝置-一種高效的動(dòng)力傳動(dòng)方式，DR系列羅茨真空泵擁有緊湊的結(jié)構(gòu)以及如下的特性：

●真空系統(tǒng)可以在減少配置旁路管道及閥門或者省略變頻器的設(shè)計(jì)條件下，獲得遠(yuǎn)超傳統(tǒng)增壓泵的整體抽速效果，硬件成本節(jié)約顯著，控制要求明顯降低;

●液力傳動(dòng)結(jié)構(gòu)可以自動(dòng)調(diào)整泵的轉(zhuǎn)速，即使泵在高壓下工作，電機(jī)也不會(huì)過載或過熱;

●相比傳統(tǒng)的直聯(lián)傳動(dòng)，即使在入口壓力驟變或者吸入異物時(shí)，泵業(yè)不會(huì)損壞，停機(jī)故障率可大大降低;

●DR系列羅茨真空泵可以與前級(jí)泵同時(shí)在大氣壓下啟動(dòng)而不會(huì)使電機(jī)過載，因此可以更早的作用于整個(gè)抽空過程，從而明顯縮短抽空時(shí)間，特別適用于需要快速抽空的場(chǎng)合;

●非常安靜平穩(wěn)的運(yùn)行，極微小的振動(dòng);

●可靠的軸封結(jié)構(gòu)可以確保潤(rùn)滑液不會(huì)進(jìn)入泵腔內(nèi);

●因?yàn)闊o需旁通管路和閥門等，泵的維護(hù)也相當(dāng)簡(jiǎn)單。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)：醫(yī)療技術(shù)、工業(yè)檢漏、電子束焊接、真空隔離、燈具燈管制造、熱處理、真空干燥，凍干、真空爐，冶金工程。

研發(fā)：核子研究、融化技術(shù)、等離子體研究、粒子加速器、空間模擬、低溫研究、基本粒子物理、納米技術(shù)、生物技術(shù)。

涂層、鍍膜：平板顯示器、LED/OLED、硬盤涂層、光伏電池、玻璃鍍層、CD-DVD-藍(lán)光、光學(xué)鍍膜、耐磨涂層。

半導(dǎo)體：光刻，平面印刷、物理氣相沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD、等離子刻蝕、離子注入、光束注入、檢視、粘合、分子束外延。