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上海伯東美國(guó) HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列是專為的真空環(huán)境而設(shè)計(jì). 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計(jì), 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動(dòng)部件, 限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.......
1.易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
2.不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護(hù)
3.真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計(jì)和低粒子
4.使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
5.高壓和機(jī)械加工的不銹鋼
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