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詳細(xì)介紹
氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場(chǎng)合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
技術(shù)指標(biāo)
名稱 | 主要參數(shù) |
量程 | 10sccm/100sccm/1slpm/10slpm/20slpm |
精度 | ±1%F.S. |
氣體類型 | H2、N2、Air、He（可定制） |
響應(yīng)時(shí)間 | 1s |
使用壓力 | ≤0.3MPa |
工作溫度 | 0~50℃ |
工作濕度 | 0~95%R.H.（非冷凝） |
工作電壓 | 24V±10%/1A |
接口類型 | RS-232 |
控制方式 | 按鍵/RS-485/4~20ma |
氣路材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 |
氣路接頭 | 多規(guī)格選擇（可定制） |
尺寸 | 60*26*80mm |
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