集成電路芯片車間 返回列表頁

集成電路芯片車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該潔凈室對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機配合高效送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

第一種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設計方案。

集成電路芯片車間廠房的技術特征

(1) 電子類生產(chǎn)廠房因其生產(chǎn)產(chǎn)品對空間環(huán)境特殊的潔凈度要求,建筑平剖面空間以及技術措施首先應保證生產(chǎn)空間的潔凈度,對進入生產(chǎn)空間的人流物流以及設備等,均應做凈化和無塵處理。

(2) 集成電路芯片生產(chǎn)過程中工藝流程一般不是單向的,通常會出現(xiàn)多次交叉反復。像芯片生產(chǎn)過程中的光刻、腐蝕、擴散、蒸發(fā)、表面純化等,工藝流程上的往復交叉頻繁。在設計上則要求空間的潔凈度對各工序均滿足生產(chǎn)要求。因此國外的生產(chǎn)廠房整個潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈等級均按100級設計,個別10級區(qū)域用設備手段解決。

(3) 電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代快,其生產(chǎn)工藝和設備也在不斷更新,要求建筑空間有一定的靈活性和可變性,以適應工藝和產(chǎn)品不斷的更新?lián)Q代要求。

(4) 集成電路芯片生產(chǎn)雖是流水作業(yè)但因其運輸量小不需十分嚴格的工序銜接,在建筑空間布局上可相對自由。