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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>等離子鍍膜儀>>CY-PSP180G-3TA三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）

三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）

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  • 三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）

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  • 型號(hào) CY-PSP180G-3TA
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  • 廠商性質(zhì) 其他
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更新時(shí)間：2020-12-31 20:31:48瀏覽次數(shù)：350

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹： 本型號(hào)小型等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過(guò)程中無(wú)高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本型號(hào)儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于......

詳細(xì)介紹

詳情介紹：


技術(shù)參數(shù)：

樣品臺(tái)

尺寸

100mm

到靶面距離

20~35mm高度可調(diào)

等離子濺射靶

數(shù)量

2英寸 x3   

冷卻方式

自然冷卻   

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 210mm    

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開(kāi)啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF16

進(jìn)氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數(shù)量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

1200V

*大濺射電流

50mA

真空系統(tǒng)

真空泵類(lèi)型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF16

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s（4m3/h）

極限真空度

≥0.1Pa

真空測(cè)量

電阻真空規(guī)

其他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機(jī)功率

1.5kW

整機(jī)尺寸

500mm X 320mm X470mm

整機(jī)重量

30kg




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