詳細介紹
詳情介紹:
本型號換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產(chǎn)生熱損傷。該小型換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀使用PLC控制系統(tǒng),全部觸摸屏操作,便于學習使用。換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺,用戶可以在觸控屏上實現(xiàn)一鍵換位,樣品臺可在兩個靶位自由切換,到位后樣品臺還可進行自轉(zhuǎn),以增強鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對膜厚進行監(jiān)測,以提高鍍膜的精準度。
本設備體積小巧造型美觀功能強大,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
換位自轉(zhuǎn)等離子鍍膜儀技術參數(shù):
項目 | 明細 |
產(chǎn)品型號 | CY-PSP180G-1TA-SWR |
樣品臺 | 直徑φ60mm, 可在兩個靶位間自動切換 |
直流濺射頭 | 2"x1 |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體尺寸 | φ180mm X 150mm |
真空泵 | 旋片泵 |
極限真空 | 1.0E-1Pa |
真空接口 | KF16真空法蘭 |
進氣口 | φ6.35卡套接頭 |
供電電源 | AC 220V 50Hz |
整機功率 | 1.5KW/2KW(旋轉(zhuǎn)加熱) |