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詳細介紹
詳情介紹：
本產(chǎn)品有以下特點：
1.本設(shè)備采用石英腔體，易于清潔和樣品的放入；
2.采用鎢絲籃或者鎢舟為發(fā)熱源，*高溫度可達到1700℃；
3.可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。
4.進氣口配有針閥，用于調(diào)節(jié)進氣流量。
項目 | 明細 |
供電電壓 | AC220V，60Hz |
*大功率 | 1000W |
樣品臺 | 直徑φ60mm； 與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm |
石英腔體 | O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 100mm |
蒸發(fā)源 | 鎢絲籃/鎢舟 |
*高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | B型熱電偶，工作溫度200℃~1500℃ |
真空計 | 電阻式真空規(guī) |
真空接口 | KF16 |
進氣接口 | φ6.35mm卡套接頭 |
真空泵 | 不含，客戶自備 |
整機尺寸 | 330x250x580mm |
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