FFU過濾機組 FFU_1175

什么是FFU(層流罩)?
FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環(huán)風所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU系統(tǒng)具有設計施工簡便，風速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。

FFU(層流罩)具有特點：
**：靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
**：可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負壓通風。這是FFU的*特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四：縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。

FFU(層流罩)組合的關(guān)鍵性能參數(shù)：
模數(shù)尺寸（ceiling modular size）：安裝吊頂龍骨中心線的間距，F(xiàn)FU常用的標準模數(shù)尺寸為1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），1200X1200（4’X4’）。
實際尺寸（actual size）：中科圣杰的FFU過濾器的實際尺寸=模數(shù)尺寸-（龍骨斷面寬度-25mm），風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊頂龍骨端面寬度為55mm，模數(shù)尺寸為1200，900，600所對應的FFU過濾器實際尺寸為1170，870，570，風機模塊的實際尺寸為1174，874，574。
FFU(層流罩)機外余壓（ESP）：在某一設定風速下，風機模塊的總靜壓（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機外余壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔凈室循環(huán)風阻力的能力，無論是標注FFU機外余壓或風機模塊的總靜壓TSP，都必需指名送風風速或風量，否則沒有意義。
輸入能耗（input power consumption）：FFU正常運轉(zhuǎn)時輸入電壓和輸入電流的乘積，單位是W。顯然，F(xiàn)FU在不同的運行工況點，即在不同的運行風量和總靜壓時，輸入能耗不同。因此，如果不指明運行工況點，輸入能耗值沒有意義。
單體噪音（noise level）：根據(jù)標準IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運轉(zhuǎn)時在距離出風面中心正下方1.2mm處的噪音值，單位是dB(A)。FFU在不同的運行工況點，即在不同的運行風量和總靜壓時，噪音不同。因此，如果不指明運行工況點，噪音值沒有意義。
FFU(層流罩)微振（micro vibration）：根據(jù)標準IES-RP-CC002，F(xiàn)FU在*大運轉(zhuǎn)工況點時的振動幅度和振動速率，單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度（air uniformity）：根據(jù)標準IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運轉(zhuǎn)時，在距離出風面上方150mm（6”）的水平面上測量逐點的風速，得出平均風速值。平均風速與*大風速和*小風速的偏差比即為送風均勻度，單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內(nèi)。
過濾器效率等級（filter grade）：依據(jù)歐洲標準EN1822，過濾器等級從H10-H14，U15-U17?；蛞罁?jù)美國標準MIL-282（HEPA），對于0.3um的效率值；依據(jù)美國標準IES-RP-CC007.1，對于0.12um的效率值。

FFU(層流罩)的風機模塊具有如下特點：
性能可靠：采用國內(nèi)出口品牌的內(nèi)轉(zhuǎn)子馬達及直驅(qū)離心葉片和電氣元器件。
型號齊全：根據(jù)馬達有交流（AC）和無刷直流（EC）；根據(jù)輸出靜壓有標準型和高靜壓型；根據(jù)模數(shù)尺寸有1200X600，1200X900，1200X1200，1500X750；根據(jù)箱體材質(zhì)有鋅鋁涂層鋼板（標準型）、不銹鋼型、鋁板。
優(yōu)異的出風均勻度：達到并優(yōu)于標準IES-RP-CC-002中的+/-20%的要求。
低噪音：科學的馬達風機選型和轉(zhuǎn)速設計、*的導流和消音材料的應用、合理的箱體尺寸設計，使中科圣杰FFU的噪音水平低于同類產(chǎn)品。
低微振：總振動速率均小于1mm/s，振幅不超過4um低能耗和低散熱量，上等的風機品質(zhì)和動平衡設計，以及箱體本身的零壓損，使中科圣杰FFU在同樣的輸出工況時運行能耗和散熱量低于同類產(chǎn)品。
靈活的控制方式：AC型可采用單立調(diào)速器或分組變壓式調(diào)速器，并兼有報警指示功能。

FFU(層流罩)主要技術(shù)參數(shù)：

FFU(層流罩)集中監(jiān)控系統(tǒng)

FFU作為一種凈化設備，目前在各種潔凈工程中得到廣泛應用。FFU集中監(jiān)控系統(tǒng)則是把幾十、幾百乃至上千個FFU通過FFU監(jiān)控主機將其聯(lián)接起來并進行監(jiān)控，并可以上傳至電腦中，由電腦系統(tǒng)方便地實現(xiàn)風機分區(qū)啟停、故障報警、歷史記錄等功能。當計算機關(guān)機時，監(jiān)控主機可以獨立進行24小時監(jiān)控。

由于本系統(tǒng)針對FFU功率小但臺數(shù)多場合，故采用計算機集中監(jiān)控以方便操作，系統(tǒng)包括以下四部分內(nèi)容：
·一拖二智能單元（采用電容、變壓器調(diào)壓式或電機抽頭式調(diào)速）
·32路集線器
·FFU控制主機
·計算機集中監(jiān)控系統(tǒng)
·低壓控制柜