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雙頻激光干涉儀ZLM700

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2015/6/28 3:52:09
  • 訪問次數(shù)3412
產(chǎn)品標(biāo)簽:

雙頻激光干涉儀ZLM700

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 上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司——主要從事各種進口儀器儀表、機械設(shè)備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。 為美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀，及瑞士Soclair Electronic公司PT-100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、高精度電壓信號轉(zhuǎn)換器、高精度電流信號轉(zhuǎn)換器、橋路信號轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號轉(zhuǎn)頻率模塊等。



    本公司的激光儀器主要為激光準(zhǔn)直、對中、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機械設(shè)備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應(yīng)用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設(shè)備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標(biāo)線和艉軸管檢測、汽車發(fā)動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設(shè)備輥軸的平行度的檢測，及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。



    信號轉(zhuǎn)換器類儀表用于將各種重量、溫度、壓力、電壓、電流和頻率等信號轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)控制信號，用于系統(tǒng)的集成和控制。廣泛應(yīng)用于機械和設(shè)備工程、汽車、倉儲、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購我們代理經(jīng)銷的各種產(chǎn)品，我們將以飽滿的熱情，周到的服務(wù)，客戶*的原則，為您提供滿意的產(chǎn)品和服務(wù)。

 

雙頻激光干涉儀,多點溫度測量儀,材料色散測量儀，相位波前角色散測量儀，載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀，載波包絡(luò)相移測量儀，激光對中儀，激光平面度測量儀，激光同軸度測量儀，激光孔位測量儀
ZLM系列雙頻激光干涉儀是德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的新一代雙頻激光干涉儀。它是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀，不僅能夠精確的測量數(shù)控機床的幾何量，如線性度、直線度、垂直度、偏擺角、俯仰角、滾動角、平面度、同軸度、數(shù)控機床的回轉(zhuǎn)量的測量和校準(zhǔn)以及坐標(biāo)機的調(diào)試等。
雙頻激光干涉儀ZLM700 產(chǎn)品信息

在德國，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中，由于具有*的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理，德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻干涉原理。

產(chǎn)品功能
     定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數(shù)控機床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量，廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。

性能優(yōu)勢
l          真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l          測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應(yīng)的部件即可。
l          激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。
l          計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快，zui高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l          被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當(dāng)移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l          無加速度限制；當(dāng)光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。
l          信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，zui多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。

工作原理
型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)Ω咚傥矬w進行測量，不會出現(xiàn)干擾誤差，信號延時時間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實驗室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號：ZLM700
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：
一小時2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：
1mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數(shù)：
1
線性測量距離：
40m，可擴展為120m
角度測量范圍：
± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：
20m行程
直線度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：
4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度
zui大加速：
無限制
zui高采樣頻率：
內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時間：
10分鐘
精度/非線性：
±0.3nm （角隅反射鏡）
±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
距離測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時
（20°±0.5°） 真空中時
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
線性度測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時
（20°±0.5°） 真空中時
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度測量精度：
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度測量精度：
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直線度測量精度：
±0.5%實測值，2m行程
± 2.5%實測值，10m行程
垂直度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：
±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：
積分信號
32 Bit （實時時間）
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝

與歐洲某品牌激光干涉儀的參數(shù)對比
　
耶拿爾干涉儀
歐洲某品牌
　
型M700
型號：XX-XX
工作原理:
雙頻激光干涉原理（外差式, 頻差640MHz）
單頻零差式激光干涉原理，采用遠(yuǎn)程干涉測量法
波長:
632.991nm
632.991nm
激光輸出功率:
<1mW Class II （可選 Class 3R）
<1mW Class II
1小時內(nèi)穩(wěn)頻精度:
0.002ppm
0.04ppm
產(chǎn)品壽命內(nèi)穩(wěn)頻精度:
0.02ppm
0.1ppm/年
壽命:
約20000小時
約8000小時
穩(wěn)定工藝:
溫度穩(wěn)定法（對兩種模式進行比較，外差式）
零差式（1種模式）
激光束直徑:
6mm （可選3.2mm）
6mm
每束激光可測量的軸數(shù):
1-6
1
測量范圍
　
　
距離 :
0...40m，可選120m
0...40m，可選80m
角度:
± 15°，軸線范圍20m
± 5° ，軸線范圍15m
直線度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
垂直度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
分辨率
　
　
距離 （使用角隅反射鏡） :
0.6 nm，速度v= 4m/s
1nm，速度v=4m/s
　
0.3 nm，速度v= 2m/s
　
　
0.1 nm，速度v= 1m/s
　
角度:
0.003角秒（0.015µrad）
0.1µrad
直線度（短距離）:
7nm
10nm
垂直度（短距離）:
7nm
10nm
直線度（長距離）:
36nm
100nm
垂直度（長距離）:
36nm
100nm
精度
　
　
距離:
+/-0.4ppm
+/-0.5ppm
角度:
+/-0.1ppm
+/-0.6%實測值
直線度（短距離）:
+/-0.5%實測值
+/-0.5%實測值
垂直度（短距離）:
+/-0.5%實測值
+/-0.5%實測值
直線度（長距離）:
+/-2.5%實測值
+/-2.5%實測值
垂直度（長距離）:
+/-2.5%實測值
+/-2.5%實測值
光學(xué)鏡（直線度用）:
差分干涉鏡
無（僅使用一個Wollaston棱鏡）
系統(tǒng)的線性度:
非常好（這是因為使用了差分干涉鏡）
不明（取決于Wollaston棱鏡質(zhì)量）
可測量到的偏差范圍
　
　
直線度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
垂直度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
輔助調(diào)節(jié):
計算機輔助調(diào)節(jié)
小孔
接口:
PCI
USB
　
cPCI （PXI）
　
　
USB
　
　
AquadB （積分信號）
　
　
32bit實時
　
采樣速度:
 0.001Hz - 1MHz （可調(diào)）
50 kHz

ZLM700部分應(yīng)用的光路圖


 

 

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