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微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海貝丁漢工業(yè)自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2015/6/19 1:16:43
  • 訪問次數(shù)6990
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 上海貝丁漢工業(yè)自動化設備有限公司——主要從事各種進口儀器儀表、機械設備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術服務工作。 為美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡相位調(diào)諧儀，及瑞士Soclair Electronic公司PT-100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、高精度電壓信號轉換器、高精度電流信號轉換器、橋路信號轉換器、頻率變送器、模擬信號轉頻率模塊等。



    本公司的激光儀器主要為激光準直、對中、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機械設備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標線和艉軸管檢測、汽車發(fā)動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設備輥軸的平行度的檢測，及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。



    信號轉換器類儀表用于將各種重量、溫度、壓力、電壓、電流和頻率等信號轉換為標準的工業(yè)控制信號，用于系統(tǒng)的集成和控制。廣泛應用于機械和設備工程、汽車、倉儲、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購我們代理經(jīng)銷的各種產(chǎn)品，我們將以飽滿的熱情，周到的服務，客戶*的原則，為您提供滿意的產(chǎn)品和服務。

 

雙頻激光干涉儀,多點溫度測量儀,材料色散測量儀，相位波前角色散測量儀，載波包絡相位調(diào)諧儀，載波包絡相移測量儀，激光對中儀，激光平面度測量儀，激光同軸度測量儀，激光孔位測量儀
真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。
微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 產(chǎn)品信息

   
產(chǎn)品名稱：微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀
產(chǎn)品型號：ZLM800
產(chǎn)品產(chǎn)地：德國
制 造 商：德國耶拿爾測量技術有限公司
 
詳細介紹:

    ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量，角度變化量的監(jiān)測，移動平臺運動情況的檢測，及光刻機幾何量的測量，數(shù)控機床幾何量的測量，zui多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。具有以下性能優(yōu)勢：
l  真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。
l  全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產(chǎn)品制造商。
l   激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。
l  干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。
l  計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結果更準確。
l  采樣頻率更快，zui高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l  被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l   無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。
l  信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l  對于多軸聯(lián)動的復雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。

技術參數(shù)
型號：ZLM800
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：
一小時2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：
1mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數(shù)：
zui多6個
線性測量距離：
40m，可擴展為120m
角度測量范圍：
± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：
20m行程
直線度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：
4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度
zui大加速：
無限制
zui高采樣頻率：
內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預熱時間：
10分鐘
精度/非線性：
±0.3nm （角隅反射鏡）
±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
距離測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時
（20°±0.5°） 真空中時
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
線性度測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時
（20°±0.5°） 真空中時
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度測量精度：
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度測量精度：
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直線度測量精度：
±0.5%實測值，2m行程
± 2.5%實測值，10m行程
垂直度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：
±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：
積分信號
32 Bit （實時時間）
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標準：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝

應用案例
以下是為*設計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應用案例。在*個案例中，用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動，實時測試兩個擺鏡對應量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個案例中，用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況，2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。


 
以下是為國內(nèi)某研究所某項目設計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標Ⅰ、被監(jiān)視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。


ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖

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