MMQ200形狀測量儀
圓度
• 直線度
• 平面度 (圓形掃描評定)
• 平行度
• 錐度
• 同心度,同軸度
• 跳動,全跳動
• 圓柱度
• 斜度
• 垂直度 (以圓形掃描面為基準(zhǔn))
• 角度
• 扇形區(qū)間上的圓度、平面度、徑向跳動
三 MMQ200 主要技術(shù)參數(shù)如下:
3.1 園度測量單元C-軸
圓度誤差(P+V) : 0.03um+0.0006um/mm 測量高度
圓度誤差(P 或V) : 0.015um+0.0003um/mm 測量高度
軸向跳動(P+V) : 0.04um+0.0006um/mm 測量半徑
軸向跳動(P 或V) : 0.02um+0.0003um/mm 測量半徑
3.2 全自動調(diào)心調(diào)平工作臺:
工作臺直徑: 160mm
工作臺中心承載: 200N(20KG)
工作臺X,Y 方向軸線中心可調(diào)范圍 : +/- 2.5mm
工作臺水平可調(diào)范圍 : +/- 1°
主軸速度 : 1-20 rpm
3.3 垂直測量單元 Z-軸
測量高度 : 250mm
直線度誤差 : 0.15um/100mm
全程直線度誤差: 0.3 um
Z 軸與C 軸間平行度誤差: 0.5 um
測量速度 : 0.5-20 mm/s
定位速度 : 0.5-100 mm/s
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