Marsurf-xc2使輪廓測量儀
清晰、布局分明的圖標(biāo)顯示以及簡單易懂的在線操作令操作變
包括:標(biāo)準(zhǔn)控制單元
MarSurf XC 2 軟件
Windows XP 操作軟件 62682xx
17“ 液晶顯示器 5460041
打印機(jī) 5460030
USB 數(shù)據(jù)線 3018232
MCP 23 手動控制面板 (標(biāo)配) 7035195
CD 120 驅(qū)動器 6720812
MarSurf ST 500 測量工作臺
700 mm x 550 mm (27.56 in x 21.65 in) 大理石底座 6710250
PCV 200/CD 120 夾持裝置 6851362
CT 120 XY 工作臺 6710529
用于 CT 120 的轉(zhuǎn)動附件 6710547
Contour 2 校準(zhǔn)套裝 (標(biāo)配) 6820124
5MarSurf XC 2
XC 2 帶 CD 120 驅(qū)動器和ST 500 或 ST 750工作臺
CD 120 輪廓驅(qū)動器是測量工作站的核心部件, 其質(zhì)量和特性令
半徑、距離、角度和線性的高精度測量變得可靠。
寧靜的驅(qū)動器, 配合軟件偏差修正, 保證了具有高垂直及水平分
辨率的可重復(fù)性測量。
• 大理石底座, 臺面 700 mm × 550 mm (27.56 in x 21.65 in)
(長 × 闊) 帶3條10 mm (0.39 in) T-形槽
• 具有馬達(dá)高度調(diào)節(jié)的測量立柱, 范圍可達(dá) 500 mm (19.69 in)
Marsurf-xc2使輪廓測量儀 技術(shù)數(shù)據(jù)
掃瞄長度 (X方向) 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
測量范圍 (Z方向) 50 mm (1.97 in), 適用于 350 mm (13.78 in) 測臂
25 mm (0.98 in), 適用于 175 mm (6.89 in) 測臂
測量系統(tǒng) (X方向) 高精度光柵測量系統(tǒng)
(出廠經(jīng)激光干涉儀校準(zhǔn))
測量系統(tǒng) (Z方向) 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測針分辨率( Z方向) 0.38 μm (15 μin), 適用于350 mm (13.78 in) 測臂
0.19 μm (7.5 μin), 適用于175 mm (6.89 in) 測臂
測量系統(tǒng)分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程內(nèi))
測量方向( X方向) 向前 (+X), 向后 (-X)
接觸方向( Z方向) 向下 (-Z), 向下(+Z)
測力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向上和向下
(可在 MarSurf XC 2設(shè)定)
行程升角 在光滑表面, 取決于表面傾斜程度:
向下降低時(shí)不超過 88°, 向上上升時(shí)不超過77°
測量速度 (X方向) 0.2 mm/s 至 4 mm/s (0.0079 in/s 至 0.16 in/s)
接觸速度 (Z方向) 0.1 mm/s 至 1 mm/s (0.0039 in/s 至 0.039 in/s)
定位速度 (X方向)
及返回速度 0.2 mm/s 至 8 mm/s (0.0079 in/s 至 0.31 in/s)
定位速度 (Z方向) 0.2 mm/s 至10 mm/s (0.0079 in/s 至 0.39 in/s)
測臂長度 175 mm (6.89 in), 350 mm (13.78 in)
測針半徑 25 μm (0.00098 in)