中國國家電子超純水規(guī)格GB/T1146.1-1997電子級水的技術(shù)指標應(yīng)符合表中的規(guī)定。
級別/指標 | EW-I | EW-II |
電阻率MΩ.cm（25℃） | 18以上（95%時間）不低于17 | 15（95%時間）不低于13 |
硅≤µg/l | 2 | 10 |
>1µM微粒數(shù)≤個/ml | 0.1 | 5 |
細菌個數(shù)≤個/ml | 0.01 | 0.1 |
銅≤µg/l | 0.2 | 1 |
鋅≤µg/l | 0.2 | 1 |
鎳≤µg/l | 0.1 | 1 |
鈉≤µg/l | 0.5 | 2 |
鉀≤µg/l | 0.5 | 2 |
氯≤µg/l | 1 | 1 |
硝酸根≤µg/l | 1 | 1 |
磷酸根≤µg/l | 1 | 1 |
硫酸根≤µg/l | 1 | 1 |
總有機碳≤µg/l | 20 | 100 |
電子級超純水設(shè)備常用工藝(水質(zhì)符合美國ASTM標準，電子部超純水水質(zhì)標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
1.預(yù)處理－反滲透－ 水箱－陽床－陰床－混合床－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－精密過濾器－用水對象
2.預(yù)處理－一級反滲透－加藥機（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象
3.預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化系統(tǒng)水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象
4.預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象
電子級超純水設(shè)備應(yīng)用場合：
1.GMP純化水半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
2.超純材料和超純化學(xué)試劑；
3.實驗室和中試車間；
4.汽車、表面拋光處理；
5.其他高科技精微產(chǎn)品。
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