高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì),變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng),并能保證*的軸承工作條件,從而能延長(zhǎng)工作壽命,zui大程度縮短系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 304 FS 泵*的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì),使得泵無需泵油和維護(hù),能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
進(jìn)口Agilent TwisTorr 304 FS渦輪分子泵特性:
創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對(duì)小分子氣體能提供高壓縮比,而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和zui小的系統(tǒng)占用空間。
高前級(jí)耐壓 — 允許使用更小的前級(jí)泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng),低噪音,*的軸承工作條件,延長(zhǎng)泵的使用壽命,實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化,zui大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
*的軸承和干式潤(rùn)滑劑 — 免維護(hù)、免油,實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
銅制水冷通道(可選) — 可避免腐蝕,優(yōu)化熱傳遞性能,降低用水量和使用維護(hù)成本。
典型渦輪泵應(yīng)用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到*性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用
領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積:
設(shè)備加工:
一般工藝:
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納米技術(shù)儀器 |
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進(jìn)口Agilent TwisTorr 304 FS渦輪分子泵性能指標(biāo):
抽速: 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100:使用 CFF 8 英寸或 ISO 160: |
N2:250 L/s | He:255 L/s He:255 L/s |
H2:220 L/s |
Ar:250 L/s |
全轉(zhuǎn)速zui大氣載(使用推薦前級(jí)泵) 環(huán)境溫度 (25 °C) 水溫 (25 °C,50 L/h) | N2:170 sccm N2:170 sccm | Ar:110 sccm Ar:110 sccm | ||
壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系: | N2:> 1 × 1011 N2:> 10 mbar | He:> 1 × 108 H2:> 10 mbar | H2:1.5 × 106 H2:> 4 mbar | Ar:> 1 × 1011 Ar:> 10 mbar |
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
抽氣口法蘭 | 8 英寸外徑 CFF 2.6 英寸外徑 CFF | ISO 160 ISO 100 | ||
前級(jí)管道法蘭 | KF 16 NW(KF25 — 可選) | |||
轉(zhuǎn)速 | 60000 rpm(1010 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率) | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | 小于 3 分鐘 | |||
推薦的前級(jí)泵 | 機(jī)械:Agilent DS 102 干泵:Agilent SH 110 | |||
工作位置 | 任意 | |||
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空氣相對(duì)濕度 | 0%–90%(無冷凝) | |||
烘烤溫度 | 抽氣口法蘭zui高溫度 120 °C(CFF 法蘭)抽氣口法蘭zui高溫度 80 °C(ISO 法蘭) | |||
潤(rùn)滑油 | yognjiu性潤(rùn)滑 | |||
冷卻要求 | 風(fēng)扇冷卻(環(huán)境溫度 5–35 C) 水冷(如果環(huán)境高于 35 ℃,需強(qiáng)制水冷) | |||
冷卻水 | zui小流速: 50 L/h (0.89 GPM) | 溫度: +15 ℃ 至 +30 ℃ | 壓力: 3 至 5 bar(45 至 75 psi) | |
噪聲聲壓級(jí) | 在 1 米處,< 50 dB(A) | |||
儲(chǔ)存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
zui高海拔 | 3000 m | |||
重量 kg(磅): | 泵 ISO 100: | 泵 CFF 6 英寸: | 泵 ISO 160: | 泵 CFF 8 英寸:
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