Wyko NT9800光學(xué)輪廓儀在0.1nm到10mm的垂直掃描范圍內(nèi)提供了非接觸式高速高精度三維表面測(cè)量工能,縱向分辨率可達(dá)0.1nm。NT9800采用了Veeco*的內(nèi)部實(shí)時(shí)激光參考信號(hào)進(jìn)行持續(xù)的自校準(zhǔn),減小了通常情況下使用標(biāo)準(zhǔn)塊校準(zhǔn)設(shè)備的需要,并且能夠補(bǔ)償工作環(huán)境下系統(tǒng)產(chǎn)生的熱漂誤差。作的第九代Wyko NT系列光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品,NT9800具有*的自動(dòng)化水平,友好的用戶界面,以及業(yè)內(nèi)*的Wyko Vision分析軟件系統(tǒng)。眾多*技術(shù)的集成、經(jīng)過*實(shí)用驗(yàn)證的測(cè)量技術(shù)核心以及適合于各種專業(yè)應(yīng)用需要的軟件功能,使NT9800成的光學(xué)干涉測(cè)量設(shè)備,可滿足MEMS、金屬研究、材料科學(xué)、半導(dǎo)體、科研器械等眾多領(lǐng)域科研和生產(chǎn)工作中對(duì)高精度自動(dòng)化表面測(cè)量的需要。
主要特點(diǎn):
1. 非接觸測(cè)量
2. 重復(fù)性高
3. 測(cè)量精度高