紫外光刻膠-薄膠
詳細介紹:
類型 | 光刻膠型號 | 適用光譜 | 厚度范圍/um | 分辨率 | 適用工藝 |
紫外光刻膠-薄膠 | S1800系列 | g-Line, | 0.5-3.5 | 0.5um | 正性光刻膠,穩(wěn)定性好;適用于分辨率要求較高的光刻工藝 |
AZ5214 | g/h/i-Line | 1-2um | 0.5um | 反轉(zhuǎn)膠 | |
BCI-3511 | i-Line | 0.5-2 | 0.5um | 正性i線光刻膠,適用于各類接觸式光刻機(mask aligner)、stepper | |
SPR 955 | i-Line | 0.5-3.5 | 0.35um | 正性i線光刻膠,適用于分辨率要求較高的濕法腐蝕和干法刻蝕 | |
AZ 1500 | g/h/i-Line | 0.5-5 | 1um | 正性光刻膠,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造 |