產(chǎn)品概述
原子力顯微鏡PZ-6800AFM是原子力顯微鏡PZ-6600AFM的升級(jí),增加了針對(duì)標(biāo)記區(qū)域掃描提供準(zhǔn)確的定位系統(tǒng)及磁力模塊,因而掃描范圍更廣,定位更精確。
一、主要功能特點(diǎn)
硬件系統(tǒng)
1、光機(jī)電一體化設(shè)計(jì),外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;
2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體,抗力強(qiáng);
3、精密激光檢測(cè)及探針定位裝置,光斑調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單,操作方便;
4、采用樣品趨近探針?lè)绞?,使針尖垂直于樣品掃描?br>5、伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制,驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位;
6、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置,可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域;
7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇;
8、帶光學(xué)定位的CCD觀測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針掃描樣品區(qū)域;
9、采用伺服馬達(dá)控制CCD自動(dòng)對(duì)焦功能;
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù);
11、集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用。
軟件系統(tǒng)
1、可觀測(cè)樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像;
2、具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式;
3、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512;
4、多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時(shí)查看剖面圖;
5、多種曲線(xiàn)力-間距(F-Z)、頻率-RMS(f-RMS)、RMS-間隙(RMS-Z)測(cè)量功能;
6、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域;
7、可任意選擇樣品起始掃描角度;
8、激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能;
9、針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能;
10、可任意定義掃描圖像的色板功能;
11、支持樣品傾斜線(xiàn)平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能;
12、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正;
13、支持樣品圖片離線(xiàn)分析與處理功能。
規(guī)格參數(shù)
序號(hào) | 名 稱(chēng) | 參 數(shù) |
01 | 工作模式 | 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 |
02 | 樣品尺寸 | Φ≤90mm;H≤20mm |
03 | 掃描范圍 | 橫向50um,縱向5um |
04 | 掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm |
05 | 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz |
06 | 掃描控制 | XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A |
07 | 數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 |
08 | 掃描角度 | 任意 |
09 | 樣品移動(dòng)范圍 | 0~20mm |
10 | 馬達(dá)趨近脈沖寬度 | 10±2ms |
11 | 光學(xué)放大倍數(shù) | 10X |
12 | 光學(xué)分辨率 | 1um |
13 | 圖像采樣點(diǎn) | 256×256,512×512 |
14 | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
15 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
16 | 計(jì)算機(jī)接口 | USB2.0 |
17 | 運(yùn)行環(huán)境 | 運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng) |
18 | 儀器重量體積 | 40KG,700*480*450mm |