在微電子和半導(dǎo)體行業(yè)中,檢驗、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關(guān)重要。檢測缺陷的速度越快,您做出響應(yīng)的速度也就越快。
視場寬敞 30%
DM3 XL 檢驗系統(tǒng)憑借大視場幫助您的團(tuán)隊更快地識別缺陷,提高您的收益率。充分利用的宏觀物鏡,視場寬敞 30%。
適用于所有相襯觀察方法的 LED
DM3 XL 針對所有相襯觀察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色溫,并在所有亮度等級下提供真彩色成像。
在所有亮度等級下實(shí)現(xiàn)真彩色成像
自由調(diào)節(jié)
無需更換燈泡 – 無停機(jī)時間
可復(fù)制的結(jié)果
由于 LED 使用壽命長,耗電量低,因此還具有巨大的成本節(jié)約潛力。
光學(xué)“高手”
DM3 XL 讓您以實(shí)惠的價格享受到的光學(xué)性能。
采用斜射照明檢驗側(cè)面、邊緣或碎屑:以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品,從而實(shí)現(xiàn)各種形貌的可視化。
借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。
您將對明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。