| ZD-D1500是國內(nèi)C9大學(xué)、北京合創(chuàng)智達光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)的新一代快速超精密激光干涉儀。
l 在中國計量科學(xué)研究院、中國國家等單位應(yīng)用 |
ZD-D1500核心技術(shù)指標(biāo)均通過中國計量科學(xué)研究院等法定計量機構(gòu)的檢定校準(zhǔn)。
l 激光真空波長準(zhǔn)確度 1.2×10-8（k=3） l 動態(tài)測量分辨力 0.3 nm l 速度 1500 mm/s l 數(shù)據(jù)更新率 10MHz |
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ZD D1500特征與優(yōu)勢
n 高測速與高精度的統(tǒng)一！突破了高速激光干涉儀的動態(tài)信號處理技術(shù)，無論是動態(tài)測量還是靜態(tài)監(jiān)測，均可實時提供超精密測量結(jié)果！ n 非接觸多維振動測量！采用自定義的VME硬件接口模式，更新速度10MHz，可實現(xiàn)即測即知，測量動作延遲漂移小于0.3ns,引入動態(tài)測量誤差小于0.5ns！ | n 本土化產(chǎn)品的快速供應(yīng)！國外激光測振儀出口受到嚴(yán)格管控，而本產(chǎn)品核心部件均來自國內(nèi)，30 - 50個工作日即可供貨，無需歷經(jīng)嚴(yán)苛的審批過程！ n 專家級成套解決方案！超精密級測量儀器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒。依托本公司超精密測量專家團隊，可提供非接觸性激光測量解決方案！ |
應(yīng)用領(lǐng)域
n 機械模態(tài)分析 n 振動傳感器校準(zhǔn) n 微電子光刻機 n 超精密數(shù)控機床 | n 高頻聲表面波測試 n 瞬態(tài)微觀位移捕獲 n 高速三坐標(biāo)測量機 n 高速機光測長機 |
ZD D1500技術(shù)規(guī)格
儀器整體規(guī)格 | |||
測量速度 | 1500 mm/s(可選2000 mm/s) | ||
測量分辨力 | 0.3 nm | ||
線性精度 | 0.1/0.012ppm(空氣/真空) | ||
數(shù)據(jù)采樣率 | 10 MHz | ||
穩(wěn)頻激光器 | |||
真空激光波長準(zhǔn)確度 | 1.2×10-8 (可選1.0×10-9) | ||
短期頻率穩(wěn)定度 | 2×10-9/3小時 | ||
長期頻率穩(wěn)定度 | 1.2×10-8/工作周期 | ||
激光輸出功率 | 0.2 - 0.5 mW | ||
干涉鏡組 | |||
單軸干涉鏡組 | 光學(xué)4細分 | ||
多軸干涉鏡組 | 光學(xué)4細分 | ||
光電接收器 | |||
探測頭散熱 | 0 mW | ||
可探測功率 | 0.5 - 50 μW | ||
電子細分卡 | |||
測量分辨力 | 0.3 nm@光學(xué)4細分 | ||
接口形式 | VME/USB | ||
數(shù)據(jù)更新率 | 10 MHz | ||
空氣折射率補償 | |||
氣壓測量精度 | 10 Pa | ||
濕度測量精度 | 0.8% RH | ||
溫度測量精度 | 0.02 oC | ||
材料溫度補償 | |||
溫度測量精度 | 0.02 oC | ||
測量通道數(shù) | 3通道 (可選15通道) | ||
使用要求 | |||
使用溫度 | 15 - 25 oC | ||
使用濕度 | 20 - 70 % RH | ||
工作時間 | 20 000 小時 | ||
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